单晶蓝宝石整流罩磁控研磨技术研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5页 |
| 注释表 | 第10-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 引言 | 第11-12页 |
| 1.2 蓝宝石的材料特性 | 第12-14页 |
| 1.2.1 蓝宝石的晶体结构 | 第12-13页 |
| 1.2.2 蓝宝石的物理性质 | 第13-14页 |
| 1.3 单晶蓝宝石整流罩的研究现状 | 第14-18页 |
| 1.3.1 蓝宝石整流罩生长及成型技术 | 第14-16页 |
| 1.3.2 蓝宝石整流罩研磨抛光加工技术研究现状 | 第16-18页 |
| 1.3.3 蓝宝石整流罩研磨抛光加工存在的问题 | 第18页 |
| 1.4 磁控研磨加工技术 | 第18-22页 |
| 1.4.1 磁控研磨加工原理 | 第18-19页 |
| 1.4.2 磁控研磨加工的发展 | 第19-21页 |
| 1.4.3 磁性磨料的制备技术 | 第21-22页 |
| 1.5 研究意义和研究内容 | 第22-23页 |
| 第二章 化学复合镀制备金刚石磁性磨料研究 | 第23-36页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 复合镀中金刚石的吸附与沉积 | 第23-29页 |
| 2.3 化学复合镀制备金刚石磁性磨料实验 | 第29-35页 |
| 2.3.1 实验材料及检测设备 | 第29-31页 |
| 2.3.2 实验结果与分析 | 第31-35页 |
| 2.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 蓝宝石整流罩的磁控研磨工具设计 | 第36-51页 |
| 3.1 引言 | 第36页 |
| 3.2 蓝宝石整流罩研磨工具总体结构设计 | 第36-38页 |
| 3.3 蓝宝石整流罩研磨工具磁场仿真与分析 | 第38-47页 |
| 3.3.1 研磨工具有限元仿真分析 | 第38-41页 |
| 3.3.2 结果与分析 | 第41-47页 |
| 3.4 结构改进及材料的选用 | 第47-50页 |
| 3.4.1 结构参数 | 第47-48页 |
| 3.4.2 关键部件材料的选用 | 第48-50页 |
| 3.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 蓝宝石整流罩磁控研磨实验研究 | 第51-65页 |
| 4.1 引言 | 第51页 |
| 4.2 磁控研磨加工工艺参数的确定 | 第51-52页 |
| 4.3 蓝宝石整流罩的材料去除率和表面粗糙度研究 | 第52-60页 |
| 4.3.1 实验设计及检测方法 | 第52-54页 |
| 4.3.2 工艺参数对材料去除率的影响 | 第54-56页 |
| 4.3.3 工艺参数对表面粗糙度的影响 | 第56-58页 |
| 4.3.4 参数选择及实验验证 | 第58-60页 |
| 4.4 蓝宝石整流罩的球度误差和表面质量研究 | 第60-63页 |
| 4.4.1 球度误差 | 第60-62页 |
| 4.4.2 表面质量 | 第62-63页 |
| 4.5 本章小结 | 第63-65页 |
| 第五章 总结与展望 | 第65-68页 |
| 5.1 总结 | 第65-66页 |
| 5.2 展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第74页 |
