| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 研究工作的背景与意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-13页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第13-15页 |
| 第二章 硅微谐振式压力传感器的三层结构及工作原理 | 第15-19页 |
| 2.1 硅微谐振式压力传感器三层结构及工作原理 | 第15-17页 |
| 2.1.1 谐振器三层结构 | 第15-16页 |
| 2.1.2 压力检测元件 | 第16-17页 |
| 2.2 压力敏感元件受力变形解析模型研究 | 第17-18页 |
| 2.3 本章小结 | 第18-19页 |
| 第三章 压力敏感膜片在均布载荷下的变形分析 | 第19-40页 |
| 3.1 薄板小挠度变形 | 第19-22页 |
| 3.2 四边固支矩形板在均布载荷作用下的变形挠度 | 第22-30页 |
| 3.2.1 四边简支矩形板在均布载荷作用下的变形挠度 | 第24-26页 |
| 3.2.2 四边简支矩形板在边界弯矩作用下的变形挠度 | 第26-27页 |
| 3.2.3 四边固支矩形板在均布载荷作用下的变形挠度 | 第27-30页 |
| 3.3 计算结果分析 | 第30-39页 |
| 3.3.1 均布载荷受力变形解析模型计算结果 | 第30-33页 |
| 3.3.2 薄膜长宽比的影响 | 第33-34页 |
| 3.3.3 薄膜厚度的影响 | 第34-35页 |
| 3.3.4 薄膜在均布载荷作用下的内力分析 | 第35-39页 |
| 3.4 本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 压力敏感膜片在叠加载荷下的变形分析 | 第40-56页 |
| 4.1 四边固支矩形板在叠加载荷作用下的变形挠度 | 第40-48页 |
| 4.1.1 四边简支矩形薄板在局部载荷作用下的变形挠度 | 第42-45页 |
| 4.1.2 四边固支矩形板在叠加载荷作用下的变形挠度 | 第45-48页 |
| 4.2 计算结果分析 | 第48-55页 |
| 4.2.1 叠加载荷变形模型计算结果的验证 | 第48-52页 |
| 4.2.2 局部载荷对压力膜变形的影响 | 第52-54页 |
| 4.2.3 局部载荷作用面长宽比对压力膜变形的影响 | 第54-55页 |
| 4.3 本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 谐振器压力检测元件各结构之间的相互影响 | 第56-71页 |
| 5.1 锚点位移的计算 | 第56-60页 |
| 5.2 压力检测元件各结构尺寸对压力膜变形的影响 | 第60-65页 |
| 5.3 谐振梁固有频率和灵敏度的影响因素 | 第65-70页 |
| 5.3.1 薄膜长宽比对谐振梁固有频率和灵敏度的影响 | 第65-67页 |
| 5.3.2 薄膜厚度对谐振梁固有频率和灵敏度的影响 | 第67-68页 |
| 5.3.3 锚点位置对谐振梁固有频率和灵敏度的影响 | 第68-69页 |
| 5.3.4 锚点结构尺寸对谐振梁固有频率和灵敏度的影响 | 第69-70页 |
| 5.4 本章小结 | 第70-71页 |
| 第六章 总结与展望 | 第71-74页 |
| 6.1 本文总结 | 第71-72页 |
| 6.2 展望 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 攻读硕士期间取得的成果 | 第79页 |
