| 摘要 | 第2-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 第一章 概述 | 第9-16页 |
| 1.1 生物传感技术及分类 | 第9-11页 |
| 1.1.1 生物传感技术 | 第9页 |
| 1.1.2 生物传感技术的分类 | 第9-11页 |
| 1.2 GMR 生物传感器 | 第11-14页 |
| 1.2.1 自旋阀型GMR 器件 | 第12-13页 |
| 1.2.2 多层膜型GMR 器件 | 第13-14页 |
| 1.3 本论文研究的内容及意义 | 第14页 |
| 参考文献 | 第14-16页 |
| 第二章 巨磁电阻（GMR）效应 | 第16-26页 |
| 2.1 巨磁电阻（GMR）效应 | 第16-19页 |
| 2.1.1 OMR | 第17页 |
| 2.1.2 AMR | 第17-18页 |
| 2.1.3 多层膜的GMR 效应 | 第18-19页 |
| 2.2 GMR 效应的理论解释及模型 | 第19-21页 |
| 2.2.1 理论解释 | 第19-20页 |
| 2.2.2 GMR 起因的理论模型 | 第20-21页 |
| 2.3 多层膜层间耦合的振荡现象 | 第21-22页 |
| 2.4 自旋阀等其他GMR 结构 | 第22-23页 |
| 2.4.1 自旋阀型GMR | 第22-23页 |
| 2.4.2 其它类型的GMR 结构 | 第23页 |
| 2.5 小结 | 第23-24页 |
| 参考文献 | 第24-26页 |
| 第三章 NiFeCo/Cu 多层膜 | 第26-40页 |
| 3.1 磁控溅射 | 第26-29页 |
| 3.1.1 溅射及磁控溅射 | 第26-27页 |
| 3.1.2 MPS－3000－HC5 超高真空磁控溅射仪 | 第27-29页 |
| 3.2 NiFeCo/Cu 多层膜的制备及实验内容 | 第29-30页 |
| 3.2.1 制备条件 | 第29-30页 |
| 3.2.2 实验内容 | 第30页 |
| 3.3 影响多层膜GMR 的各因素 | 第30-35页 |
| 3.3.1 缓冲层对多层膜GMR 的影响 | 第31-32页 |
| 3.3.2 非磁层对多层膜GMR 的影响 | 第32-33页 |
| 3.3.3 铁磁层对多层膜GMR 的影响 | 第33-34页 |
| 3.3.4 其他影响多层膜GMR 的因素 | 第34-35页 |
| 3.4 优化参数的 NiFeCo/Cu 多层膜 | 第35-36页 |
| 3.5 磁场下的退火处理 | 第36-37页 |
| 3.6 小结 | 第37-38页 |
| 参考文献 | 第38-40页 |
| 第四章 GMR 器件制备及工作原理 | 第40-63页 |
| 4.1 各种器件布局方案 | 第40-45页 |
| 4.1.1 使用一个GMR 电阻进行传感 | 第40-41页 |
| 4.1.2 采用两个电阻的方法 | 第41-43页 |
| 4.1.3 电桥的形式 | 第43-45页 |
| 4.2 器件的制备步骤 | 第45-49页 |
| 4.2.1 器件的布局 | 第45-46页 |
| 4.2.2 器件的制备过程 | 第46-49页 |
| 4.3 GMR 器件工作原理分析 | 第49-56页 |
| 4.3.1 GMR 器件的工作原理 | 第50-54页 |
| 4.3.2 关于水平模式 | 第54-56页 |
| 4.4 单个磁微球偶极场及信号的计算 | 第56-61页 |
| 4.4.1 单个磁微球的偶极场 | 第56-58页 |
| 4.4.2 单个磁微球产生的信号 | 第58-61页 |
| 4.5 小结 | 第61页 |
| 参考文献 | 第61-63页 |
| 第五章 基于制备的GMR 器件的实际测试 | 第63-72页 |
| 5.1 测试方法及平台搭建 | 第63-64页 |
| 5.2 GMR 电阻的R-H 曲线 | 第64-65页 |
| 5.3 GMR 器件对外加磁场的信号响应 | 第65-69页 |
| 5.3.1 无磁微球时器件的信号响应 | 第66-67页 |
| 5.3.2 有磁微球时器件的信号响应 | 第67-69页 |
| 5.4 信号基点的漂移 | 第69-70页 |
| 5.5 本研究存在的问题 | 第70页 |
| 5.6 小结 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-72页 |
| 第六章 总结与展望 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 攻读学位期间录用、发表和投稿的学术论文目录 | 第75-78页 |
| 上海交通大学学位论文答辩决议书 | 第78页 |