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基于石墨烯的新型微纳电子器件研究

摘要第3-4页
Abstract第4-5页
主要符号对照表第10-11页
第1章 引言第11-32页
    1.1 石墨烯的历史及机遇第11页
    1.2 石墨烯的物理特性第11-17页
        1.2.1 晶格结构及能带第11-13页
        1.2.2 电学特性第13-14页
        1.2.3 力学特性第14-15页
        1.2.4 光学特性第15-16页
        1.2.5 热学特性第16-17页
    1.3 石墨烯的制备方法第17-22页
        1.3.1 机械剥离法第17-18页
        1.3.2 化学气相沉积法第18-20页
        1.3.3 化学氧化还原法第20-21页
        1.3.4 碳化硅外延法第21-22页
    1.4 石墨烯器件第22-28页
        1.4.1 石墨烯晶体管第22-23页
        1.4.2 石墨烯存储器第23-24页
        1.4.3 石墨烯传感器和执行器第24-28页
    1.5 论文课题的提出第28-29页
    1.6 选题意义与研究内容第29-31页
    1.7 论文章节安排第31-32页
第2章 石墨烯材料的制备及图形化第32-53页
    2.1 CVD法制备及图形化石墨烯第32-46页
        2.1.1 CVD法在铜基底上制备石墨烯第32-34页
        2.1.2 CVD法在镍基底上制备石墨烯第34-35页
        2.1.3 CVD法直接在绝缘基底上生长石墨烯微米条带第35-41页
        2.1.4 采用激光图形化石墨烯第41-46页
    2.2 激光直写法制备及图形化石墨烯第46-52页
    2.3 本章小结第52-53页
第3章 基于石墨烯的二维异质结晶体管第53-66页
    3.1 器件的制备及表征第53-60页
        3.1.1 栅控graphene-MoS_2异质结晶体管第53-57页
        3.1.2 栅控MoS_2-graphene-MoS_2异质结晶体管第57-60页
    3.2 理论分析第60-65页
    3.3 本章小结第65-66页
第4章 基于石墨烯的阻变存储器第66-101页
    4.1 基于石墨烯的低功耗阻变存储器第66-78页
        4.1.1 器件结构和工艺第66-68页
        4.1.2 器件表征第68-72页
        4.1.3 电学测试结果第72-76页
        4.1.4 机理分析第76-78页
    4.2 基于石墨烯的Fin结构阻变存储器第78-88页
        4.2.1 器件结构和工艺第78-81页
        4.2.2 电学测试结果第81-84页
        4.2.3 机理分析第84-88页
    4.3 基于石墨烯的存储窗口可调的阻变存储器第88-100页
        4.3.1 器件结构和工艺第88-90页
        4.3.2 电学测试结果第90-96页
        4.3.3 机理分析第96-100页
    4.4 本章小结第100-101页
第5章 基于石墨烯的声源器件第101-134页
    5.1 基于多层石墨烯的声源器件第102-114页
        5.1.1 理论模型的建立与优化设计第102-106页
        5.1.2 制备工艺第106-107页
        5.1.3 声学测试平台第107-109页
        5.1.4 声学测试结果第109-114页
    5.2 基于单层石墨烯的声源器件第114-123页
        5.2.1 基于AAO衬底的单层石墨烯声源器件第114-117页
        5.2.2 基于PET衬底的单层石墨烯耳机第117-123页
    5.3 基于rGO的声源器件第123-132页
        5.3.1 基于rGO Paper的声源器件第123-126页
        5.3.2 基于激光直写法的石墨烯耳机第126-132页
    5.4 本章小结第132-134页
第6章 基于石墨烯的力学传感器及能量收集器件第134-170页
    6.1 基于氧化石墨烯的触控按键及能量收集第134-143页
        6.1.1 基于氧化石墨烯的触控按键第134-139页
        6.1.2 基于氧化石墨烯的能量收集器第139-143页
    6.2 基于激光直写的石墨烯力学传感器第143-159页
        6.2.1 基于激光直写的石墨烯应力传感器第143-150页
        6.2.2 基于激光直写的石墨烯压力传感器第150-159页
    6.3 石墨烯巨压电效应的发现及应用第159-168页
        6.3.1 器件制备工艺第159-161页
        6.3.2 器件测试平台第161-162页
        6.3.3 测试结果及分析第162-165页
        6.3.4 理论分析第165-166页
        6.3.5 能量收集和压力传感器应用第166-168页
    6.4 本章小结第168-170页
第7章 基于石墨烯的发光器件第170-182页
    7.1 器件结构及制备工艺第170-174页
    7.2 发光测试第174-179页
    7.3 发光机理分析第179-181页
    7.4 本章小结第181-182页
第8章 基于石墨烯的热整流器第182-193页
    8.1 器件结构及表征第182-184页
    8.2 测试方法第184-185页
    8.3 测试结果第185-189页
    8.4 理论分析第189-192页
    8.5 本章小结第192-193页
第9章 石墨烯器件片上集成新方法第193-205页
    9.1 晶圆级石墨烯器件的设计与实现第193-195页
    9.2 片上集成器件的应用验证第195-204页
        9.2.1 片上集成的石墨烯面内晶体管第195-197页
        9.2.2 片上集成的石墨烯光电探测器及阵列第197-202页
        9.2.3 片上集成的石墨烯扬声器第202-204页
    9.3 本章小结第204-205页
第10章 总结与展望第205-210页
    10.1 论文工作总结第205-208页
    10.2 论文工作主要创新点第208-209页
    10.3 下一步研究工作的展望第209-210页
参考文献第210-219页
致谢第219-221页
个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果第221-226页

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