摘要 | 第3-4页 |
Abstract | 第4-5页 |
主要符号对照表 | 第10-11页 |
第1章 引言 | 第11-32页 |
1.1 石墨烯的历史及机遇 | 第11页 |
1.2 石墨烯的物理特性 | 第11-17页 |
1.2.1 晶格结构及能带 | 第11-13页 |
1.2.2 电学特性 | 第13-14页 |
1.2.3 力学特性 | 第14-15页 |
1.2.4 光学特性 | 第15-16页 |
1.2.5 热学特性 | 第16-17页 |
1.3 石墨烯的制备方法 | 第17-22页 |
1.3.1 机械剥离法 | 第17-18页 |
1.3.2 化学气相沉积法 | 第18-20页 |
1.3.3 化学氧化还原法 | 第20-21页 |
1.3.4 碳化硅外延法 | 第21-22页 |
1.4 石墨烯器件 | 第22-28页 |
1.4.1 石墨烯晶体管 | 第22-23页 |
1.4.2 石墨烯存储器 | 第23-24页 |
1.4.3 石墨烯传感器和执行器 | 第24-28页 |
1.5 论文课题的提出 | 第28-29页 |
1.6 选题意义与研究内容 | 第29-31页 |
1.7 论文章节安排 | 第31-32页 |
第2章 石墨烯材料的制备及图形化 | 第32-53页 |
2.1 CVD法制备及图形化石墨烯 | 第32-46页 |
2.1.1 CVD法在铜基底上制备石墨烯 | 第32-34页 |
2.1.2 CVD法在镍基底上制备石墨烯 | 第34-35页 |
2.1.3 CVD法直接在绝缘基底上生长石墨烯微米条带 | 第35-41页 |
2.1.4 采用激光图形化石墨烯 | 第41-46页 |
2.2 激光直写法制备及图形化石墨烯 | 第46-52页 |
2.3 本章小结 | 第52-53页 |
第3章 基于石墨烯的二维异质结晶体管 | 第53-66页 |
3.1 器件的制备及表征 | 第53-60页 |
3.1.1 栅控graphene-MoS_2异质结晶体管 | 第53-57页 |
3.1.2 栅控MoS_2-graphene-MoS_2异质结晶体管 | 第57-60页 |
3.2 理论分析 | 第60-65页 |
3.3 本章小结 | 第65-66页 |
第4章 基于石墨烯的阻变存储器 | 第66-101页 |
4.1 基于石墨烯的低功耗阻变存储器 | 第66-78页 |
4.1.1 器件结构和工艺 | 第66-68页 |
4.1.2 器件表征 | 第68-72页 |
4.1.3 电学测试结果 | 第72-76页 |
4.1.4 机理分析 | 第76-78页 |
4.2 基于石墨烯的Fin结构阻变存储器 | 第78-88页 |
4.2.1 器件结构和工艺 | 第78-81页 |
4.2.2 电学测试结果 | 第81-84页 |
4.2.3 机理分析 | 第84-88页 |
4.3 基于石墨烯的存储窗口可调的阻变存储器 | 第88-100页 |
4.3.1 器件结构和工艺 | 第88-90页 |
4.3.2 电学测试结果 | 第90-96页 |
4.3.3 机理分析 | 第96-100页 |
4.4 本章小结 | 第100-101页 |
第5章 基于石墨烯的声源器件 | 第101-134页 |
5.1 基于多层石墨烯的声源器件 | 第102-114页 |
5.1.1 理论模型的建立与优化设计 | 第102-106页 |
5.1.2 制备工艺 | 第106-107页 |
5.1.3 声学测试平台 | 第107-109页 |
5.1.4 声学测试结果 | 第109-114页 |
5.2 基于单层石墨烯的声源器件 | 第114-123页 |
5.2.1 基于AAO衬底的单层石墨烯声源器件 | 第114-117页 |
5.2.2 基于PET衬底的单层石墨烯耳机 | 第117-123页 |
5.3 基于rGO的声源器件 | 第123-132页 |
5.3.1 基于rGO Paper的声源器件 | 第123-126页 |
5.3.2 基于激光直写法的石墨烯耳机 | 第126-132页 |
5.4 本章小结 | 第132-134页 |
第6章 基于石墨烯的力学传感器及能量收集器件 | 第134-170页 |
6.1 基于氧化石墨烯的触控按键及能量收集 | 第134-143页 |
6.1.1 基于氧化石墨烯的触控按键 | 第134-139页 |
6.1.2 基于氧化石墨烯的能量收集器 | 第139-143页 |
6.2 基于激光直写的石墨烯力学传感器 | 第143-159页 |
6.2.1 基于激光直写的石墨烯应力传感器 | 第143-150页 |
6.2.2 基于激光直写的石墨烯压力传感器 | 第150-159页 |
6.3 石墨烯巨压电效应的发现及应用 | 第159-168页 |
6.3.1 器件制备工艺 | 第159-161页 |
6.3.2 器件测试平台 | 第161-162页 |
6.3.3 测试结果及分析 | 第162-165页 |
6.3.4 理论分析 | 第165-166页 |
6.3.5 能量收集和压力传感器应用 | 第166-168页 |
6.4 本章小结 | 第168-170页 |
第7章 基于石墨烯的发光器件 | 第170-182页 |
7.1 器件结构及制备工艺 | 第170-174页 |
7.2 发光测试 | 第174-179页 |
7.3 发光机理分析 | 第179-181页 |
7.4 本章小结 | 第181-182页 |
第8章 基于石墨烯的热整流器 | 第182-193页 |
8.1 器件结构及表征 | 第182-184页 |
8.2 测试方法 | 第184-185页 |
8.3 测试结果 | 第185-189页 |
8.4 理论分析 | 第189-192页 |
8.5 本章小结 | 第192-193页 |
第9章 石墨烯器件片上集成新方法 | 第193-205页 |
9.1 晶圆级石墨烯器件的设计与实现 | 第193-195页 |
9.2 片上集成器件的应用验证 | 第195-204页 |
9.2.1 片上集成的石墨烯面内晶体管 | 第195-197页 |
9.2.2 片上集成的石墨烯光电探测器及阵列 | 第197-202页 |
9.2.3 片上集成的石墨烯扬声器 | 第202-204页 |
9.3 本章小结 | 第204-205页 |
第10章 总结与展望 | 第205-210页 |
10.1 论文工作总结 | 第205-208页 |
10.2 论文工作主要创新点 | 第208-209页 |
10.3 下一步研究工作的展望 | 第209-210页 |
参考文献 | 第210-219页 |
致谢 | 第219-221页 |
个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第221-226页 |