基于碳纳米管的光伏器件的基础研究
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第一章 绪论 | 第12-26页 |
| 1.1 光伏技术简介 | 第12-16页 |
| 1.1.1 光伏技术的发展与应用背景 | 第12-14页 |
| 1.1.2 光伏器件的基本原理与参数 | 第14-16页 |
| 1.2 碳纳米管简介 | 第16-18页 |
| 1.3 碳纳米管在光伏领域中的应用 | 第18-22页 |
| 1.3.1 CNT在无机光伏器件中的应用 | 第18-19页 |
| 1.3.2 CNT在有机光伏器件中的应用 | 第19-21页 |
| 1.3.3 CNT在微纳尺度光伏器件中的应用 | 第21-22页 |
| 1.4 本文研究的主要内容 | 第22页 |
| 1.5 本章小结 | 第22-23页 |
| 参考文献 | 第23-26页 |
| 第二章 单壁碳纳米管原料的表征 | 第26-33页 |
| 2.1 单壁碳纳米管的结构形貌 | 第26-27页 |
| 2.2 单壁碳纳米管的拉曼特性 | 第27-30页 |
| 2.3 单壁碳纳米管的光吸收特性 | 第30-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32页 |
| 参考文献 | 第32-33页 |
| 第三章 器件的制作与工艺 | 第33-47页 |
| 3.1 器件结构设计 | 第33-34页 |
| 3.2 器件的制作流程 | 第34-35页 |
| 3.3 电子束光刻工艺 | 第35-39页 |
| 3.3.1 电子束光刻简介 | 第35-36页 |
| 3.3.2 电子束抗蚀剂 | 第36-37页 |
| 3.3.3 曝光参数 | 第37-38页 |
| 3.3.4 电子束套刻技术 | 第38-39页 |
| 3.4 金属溅射 | 第39-43页 |
| 3.4.1 金属溅射原理 | 第39-40页 |
| 3.4.2 溅射条件的影响 | 第40-41页 |
| 3.4.3 剥离工艺 | 第41-43页 |
| 3.5 其它工艺 | 第43-44页 |
| 3.5.1 单壁碳纳米管的选取与定位 | 第43页 |
| 3.5.2 背栅极的制作 | 第43-44页 |
| 3.5.3 高温退火处理 | 第44页 |
| 3.6 本章小结 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-47页 |
| 第四章 器件的电学特性研究 | 第47-60页 |
| 4.1 对称结构单壁碳纳米管场效应晶体管 | 第47-52页 |
| 4.1.1 Pd/SWNT/Pd对称结构 | 第47-49页 |
| 4.1.1.1 器件形貌 | 第47-48页 |
| 4.1.1.2 电学特性测试 | 第48页 |
| 4.1.1.3 理论分析 | 第48-49页 |
| 4.1.2 Al/SWNT/Al对称结构 | 第49-52页 |
| 4.1.2.1 器件形貌 | 第49-50页 |
| 4.1.2.2 电学特性测试 | 第50-51页 |
| 4.1.2.3 理论分析 | 第51-52页 |
| 4.2 非对称结构场效应晶体管 | 第52-58页 |
| 4.2.1 Pd/SWNT/Al | 第52-55页 |
| 4.2.1.1 器件形貌 | 第52-53页 |
| 4.2.1.2 电学测试结果 | 第53-54页 |
| 4.2.1.3 理论分析 | 第54-55页 |
| 4.2.2 金属性SWNT的影响 | 第55-56页 |
| 4.2.3 SWNT带隙的影响 | 第56-58页 |
| 4.3 本章小结 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-60页 |
| 第五章 器件的光伏特性研究 | 第60-66页 |
| 5.1 光伏特性测试准备 | 第60-61页 |
| 5.2 光伏特性测试结果 | 第61-62页 |
| 5.3 理论计算与分析 | 第62-64页 |
| 5.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-66页 |
| 第六章 总结及展望 | 第66-68页 |
| 6.1 论文总结 | 第66-67页 |
| 6.2 展望 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 攻读硕士期间发表论文 | 第69页 |
