无结场效应晶体管的特性分析与优化设计

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
第1章 绪论	第8-12页
·课题的研究背景	第8-10页
·无结场效应晶体管简介	第8页
·多栅结构	第8-10页
·无结场效应晶体管优缺点	第10页
·无结场效应晶体管的发展现状	第10-11页
·课题的研究目的及主要工作	第11-12页
第2章 无结场效应晶体管基本特性分析	第12-25页
·纳米尺寸传统 MOSFET 的挑战	第12-13页
·无结场效应晶体管基本工作原理	第13-14页
·无结场效应晶体管的建模及分析	第14-22页
·电流模型	第14-16页
·亚阈值特性	第16-22页
·极端尺寸下的无结场效应晶体管	第22-24页
·隧穿效应致反向泄漏电流	第23页
·栅极绝缘层材料	第23-24页
·短沟道效应	第24页
·本章小结	第24-25页
第3章 无结场效应晶体管模拟方法	第25-28页
·SILVACO 简介	第25-26页
·无结场效应晶体管模拟方法及模型选取	第26-27页
·本章小结	第27-28页
第4章 无结场效应晶体管反向泄漏电流优化	第28-68页
·沟道边缘处氧化物厚度优化方案	第28-49页
·双栅无结场效应晶体管优化	第28-41页
·立体栅无结场效应晶体管优化	第41-49页
·不同介电常数栅极氧化物结合使用优化方案	第49-59页
·双栅无结场效应晶体管优化	第49-54页
·立体栅无结场效应晶体管优化	第54-59页
·短沟道优化-马鞍型折叠栅无结场效应晶体管	第59-67页
·本章小结	第67-68页
第5章 结论	第68-69页
参考文献	第69-72页
在学研究成果	第72-73页
致谢	第73页