| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-17页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第11-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-15页 |
| ·超精密加工技术的发展 | 第12-13页 |
| ·微V槽加工技术发展状况 | 第13-15页 |
| ·超精密加工数控系统研究现状 | 第15页 |
| ·本课题的来源与主要研究内容 | 第15-17页 |
| ·课题来源 | 第15页 |
| ·课题研究的主要内容 | 第15-17页 |
| 第二章 微V槽数控系统的硬件系统设计 | 第17-27页 |
| ·微V槽加工工艺及过程 | 第17-18页 |
| ·闭环控制系统的硬件平台方案 | 第18-19页 |
| ·闭环控制系统的硬件原理 | 第19-26页 |
| ·Turbo Clipper特点和基本功能 | 第19-22页 |
| ·AKD驱动器特点和参数设置 | 第22-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 微V槽数控系统的软件系统设计 | 第27-46页 |
| ·软件系统结构 | 第27-28页 |
| ·实现PMAC卡与上位机的通讯 | 第28-29页 |
| ·运动程序设计 | 第29-33页 |
| ·上位机运动控制 | 第29-30页 |
| ·下位机运动程序设计 | 第30-33页 |
| ·微V槽数控加工G代码生成和编译 | 第33-37页 |
| ·加工G代码生成 | 第33-34页 |
| ·加工G代码编译 | 第34-37页 |
| ·软控制面板的手动功能 | 第37-39页 |
| ·数控系统参数管理 | 第39-42页 |
| ·微V槽加工运动仿真 | 第42-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 基于Turbo Clipper的PID前馈伺服控制算法研究 | 第46-57页 |
| ·PID控制算法研究 | 第46-49页 |
| ·直线电机PID控制 | 第46-47页 |
| ·Turbo Clipper的PID算法原理分析 | 第47-49页 |
| ·直线电机的PID参数整定 | 第49-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 定位精度测量以及误差补偿对测量精度的提高 | 第57-71页 |
| ·激光干涉仪测量原理分析及测试平台搭建 | 第57-60页 |
| ·激光干涉仪测量原理分析 | 第57-58页 |
| ·测试系统的搭建 | 第58-60页 |
| ·系统定位精度的测量与分析 | 第60-64页 |
| ·定位精度测试方案设计 | 第60-62页 |
| ·误差补偿的数据处理方案 | 第62-64页 |
| ·基于PMAC运动控制器的误差补偿及分析 | 第64-70页 |
| ·补偿表的制作 | 第64-66页 |
| ·误差补偿及分析 | 第66-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 总结与展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 作者攻读硕士期间发表的论文 | 第77-79页 |
| 致谢 | 第79页 |