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重离子辐照引起AlGaN薄膜光学性质变化的研究

中文摘要第1-4页
Abstract第4-5页
目录第5-7页
第一章 绪论第7-17页
   ·氮化镓基材料特性及应用第7-13页
     ·氮化镓基材料的特性第7-10页
     ·氮化镓基材料的应用第10-13页
   ·氮化镓基材料辐照效应研究背景第13-16页
     ·辐照环境第13-14页
     ·离子与固体物质相互作用第14-15页
     ·AlGaN材料及器件辐照效应相关研究第15-16页
   ·本论文的主要内容第16-17页
第二章 材料样品介绍及重离子辐照实验第17-23页
   ·Al_(0.20)Ga_(0.80)N/AlN/sapphire样品简介及结构分析第17-21页
     ·样品简介第17-18页
     ·卢瑟福背散射(RBS)验证材料组分第18-21页
   ·辐照实验简介第21-23页
     ·实验平台简介第21-22页
     ·实验条件及离子注量选取第22-23页
第三章 材料性能表征第23-53页
   ·紫外可见近红外(UV-Vis-NIR)透射光谱测试第23-42页
     ·紫外可见近红外分光光度计第23-24页
     ·透射光谱的理论模型及处理方法第24-32页
     ·Al_(0.20)Ga_(0.80)N/AlN光学常数及其随辐照离子注量的变化第32-42页
   ·Raman光谱测试及结果分析第42-49页
     ·Raman测试仪器及原理第42-44页
     ·纤锌矿型晶格的声子模式第44-46页
     ·Raman光谱测试结果及讨论第46-49页
   ·光致发光谱分析第49-53页
     ·光致发光谱的测量及原理第49-51页
     ·AlGaN光致发光谱的结果与讨论第51-53页
第四章 总结与展望第53-55页
   ·总结第53页
   ·展望第53-55页
参考文献第55-60页
在学期间研究成果第60-61页
致谢第61页

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