中文摘要 | 第1-4页 |
Abstract | 第4-5页 |
目录 | 第5-7页 |
第一章 绪论 | 第7-17页 |
·氮化镓基材料特性及应用 | 第7-13页 |
·氮化镓基材料的特性 | 第7-10页 |
·氮化镓基材料的应用 | 第10-13页 |
·氮化镓基材料辐照效应研究背景 | 第13-16页 |
·辐照环境 | 第13-14页 |
·离子与固体物质相互作用 | 第14-15页 |
·AlGaN材料及器件辐照效应相关研究 | 第15-16页 |
·本论文的主要内容 | 第16-17页 |
第二章 材料样品介绍及重离子辐照实验 | 第17-23页 |
·Al_(0.20)Ga_(0.80)N/AlN/sapphire样品简介及结构分析 | 第17-21页 |
·样品简介 | 第17-18页 |
·卢瑟福背散射(RBS)验证材料组分 | 第18-21页 |
·辐照实验简介 | 第21-23页 |
·实验平台简介 | 第21-22页 |
·实验条件及离子注量选取 | 第22-23页 |
第三章 材料性能表征 | 第23-53页 |
·紫外可见近红外(UV-Vis-NIR)透射光谱测试 | 第23-42页 |
·紫外可见近红外分光光度计 | 第23-24页 |
·透射光谱的理论模型及处理方法 | 第24-32页 |
·Al_(0.20)Ga_(0.80)N/AlN光学常数及其随辐照离子注量的变化 | 第32-42页 |
·Raman光谱测试及结果分析 | 第42-49页 |
·Raman测试仪器及原理 | 第42-44页 |
·纤锌矿型晶格的声子模式 | 第44-46页 |
·Raman光谱测试结果及讨论 | 第46-49页 |
·光致发光谱分析 | 第49-53页 |
·光致发光谱的测量及原理 | 第49-51页 |
·AlGaN光致发光谱的结果与讨论 | 第51-53页 |
第四章 总结与展望 | 第53-55页 |
·总结 | 第53页 |
·展望 | 第53-55页 |
参考文献 | 第55-60页 |
在学期间研究成果 | 第60-61页 |
致谢 | 第61页 |