SU-8强限制光波导及其器件研究

致谢	第1-6页
摘要	第6-8页
Abstract	第8-10页
目次	第10-12页
1 绪论	第12-20页
·光子集成器件概述	第12-15页
·SU-8聚合物光波导器件的发展概况	第15-17页
·本论文的主要内容及创新点	第17-20页
2 光波导基本理论和数值计算方法	第20-38页
·光波导基本理论	第20-26页
·光波导数值计算方法	第26-38页
3 SU-8脊形光波导的分析、制作及测试	第38-54页
·分析和讨论	第39-41页
·制作工艺	第41-46页
·性能测试	第46-53页
·小结	第53-54页
4 基于脊形SU-8光波导的阵列波导光栅	第54-74页
·设计与分析	第54-64页
·制作与测试	第64-70页
·热光调谐特性	第70-73页
·小结	第73-74页
5 基于脊形SU-8光波导的微环谐振器	第74-84页
·MRR的理论基础	第74-77页
·基于方向耦合器的小型化MRR	第77-82页
·小结	第82-84页
6 SU-8悬挂式光波导及微盘谐振器的研制	第84-96页
·SU-8悬挂式光波导的分析、制作和测试	第84-94页
·基于SU-8悬挂式光波导的微盘谐振器	第94-96页
7 总结与展望	第96-98页
参考文献	第98-110页
作者简介	第110-111页