| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| ·铁电材料研究概况 | 第10-12页 |
| ·铁电隧道结 | 第12-14页 |
| ·引言 | 第12页 |
| ·铁电隧道结研究概况 | 第12-14页 |
| ·本文的选题背景及其主要研究内容 | 第14-15页 |
| ·本文的选题背景 | 第14-15页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第15页 |
| ·本论文的主要实验仪器 | 第15-17页 |
| 第二章 磁控溅射法制备超薄铁电薄膜 | 第17-35页 |
| ·引言 | 第17-23页 |
| ·溅射法原理 | 第17-18页 |
| ·X射线衍射 | 第18-20页 |
| ·SEM技术 | 第20页 |
| ·AFM技术 | 第20-21页 |
| ·正交设计法概述 | 第21-23页 |
| ·Pt电极的制备 | 第23-26页 |
| ·SiO_2/Si基片清洗 | 第23-24页 |
| ·电极制备工艺 | 第24页 |
| ·TiO_(2-x)过渡层对Pt底电极影响 | 第24-26页 |
| ·BaTiO_3超薄铁电薄膜的制备 | 第26-34页 |
| ·靶材的制备 | 第26-27页 |
| ·铁电薄膜制备方案设计 | 第27-30页 |
| ·优化工艺 | 第30-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 BaTiO_3超薄铁电薄膜的微结构和电学性能 | 第35-43页 |
| ·超薄铁电薄膜的微结构 | 第35-38页 |
| ·BaTiO_3超薄薄膜的XRD分析 | 第35-36页 |
| ·BaTiO_3超薄薄膜的SEM表面和断面分析 | 第36-38页 |
| ·超薄铁电薄膜的电学性能 | 第38-42页 |
| ·电滞回线 | 第38-39页 |
| ·电流-电压曲线 | 第39-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 超薄铁电薄膜的隧穿机理 | 第43-61页 |
| ·引言 | 第43-48页 |
| ·体效应模型 | 第44-46页 |
| ·界面效应模型 | 第46-48页 |
| ·BaTiO_3隧道结的隧穿机理 | 第48-59页 |
| ·Pt/BaTiO_3/Pt隧道结的隧穿机理 | 第48-57页 |
| ·Pt/BaTiO_3/SrTiO_3隧道结的隧穿机理 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 全文总结 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 附录 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68页 |