| 中文摘要 | 第1-14页 |
| Abstract | 第14-18页 |
| 符号说明 | 第18-19页 |
| 第一章 绪论 | 第19-46页 |
| ·透明导电薄膜的性质和应用 | 第19-21页 |
| ·透明导电薄膜的种类 | 第21-33页 |
| ·透明导电薄膜研究的新进展 | 第33-35页 |
| ·透明导电薄膜的制备方法 | 第35-38页 |
| ·课题选取及研究内容 | 第38-41页 |
| 参考文献 | 第41-46页 |
| 第二章 样品的制备和测试 | 第46-59页 |
| ·实验设备 | 第46-53页 |
| ·溅射原理 | 第46-51页 |
| ·MS350型高真空磁控溅射台 | 第51-53页 |
| ·样品制备 | 第53-55页 |
| ·ZZO靶的制备 | 第53-54页 |
| ·ZZO薄膜的制备 | 第54-55页 |
| ·测试方法 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-59页 |
| 第三章 ZZO透明导电薄膜的特性研究 | 第59-96页 |
| ·ZrO_2掺杂及含量对ZZO薄膜性质的影响 | 第59-74页 |
| ·ZZO薄膜的成分分析 | 第60-66页 |
| ·ZrO_2含量对ZZO薄膜结构的影响 | 第66-69页 |
| ·ZrO_2含量对ZZO薄膜电学性质及载流子散射机制的影响 | 第69-73页 |
| ·ZrO_2含量对ZZO薄膜光学性质的影响 | 第73-74页 |
| ·薄膜厚度对ZZO薄膜性质的影响 | 第74-80页 |
| ·薄膜厚度与溅射时间的关系 | 第74-75页 |
| ·薄膜厚度对ZZO薄膜结构的影响 | 第75-78页 |
| ·薄膜厚度对ZZO薄膜电学性质的影响 | 第78-79页 |
| ·薄膜厚度对ZZO薄膜光学性质的影响 | 第79-80页 |
| ·溅射气压对ZZO薄膜性质的影响 | 第80-86页 |
| ·溅射气压对ZZO薄膜生长速率的影响 | 第80-81页 |
| ·溅射气压对ZZO薄膜结构的影响 | 第81-84页 |
| ·溅射气压对ZZO薄膜电学性质的影响 | 第84-85页 |
| ·溅射气压对ZZO薄膜光学性质的影响 | 第85-86页 |
| ·溅射功率对ZZO薄膜性质的影响 | 第86-93页 |
| ·溅射功率对ZZO薄膜生长速率的影响 | 第87-88页 |
| ·溅射功率对ZZO薄膜结构的影响 | 第88-91页 |
| ·溅射功率对ZZO薄膜电学性质的影响 | 第91-92页 |
| ·溅射功率对ZZO薄膜光学性质的影响 | 第92-93页 |
| 参考文献 | 第93-96页 |
| 第四章 总结 | 第96-99页 |
| 附图表目录 | 第99-101页 |
| 致谢 | 第101-102页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文目录 | 第102-104页 |
| 攻读博士学位期间参与科研项目 | 第104-105页 |
| 外文论文 | 第105-116页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第116页 |