扇形分裂漏磁敏场效应晶体管相对灵敏度研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-19页 |
| ·课题背景 | 第11页 |
| ·磁敏传感器发展现状 | 第11-17页 |
| ·磁敏传感器发展现状 | 第11-16页 |
| ·半导体磁敏传感器的应用 | 第16-17页 |
| ·磁敏传感器发展方向 | 第17-18页 |
| ·本论文研究工作 | 第18-19页 |
| 第2章 霍耳效应传感器 | 第19-33页 |
| ·霍耳效应 | 第19页 |
| ·霍耳效应器件的主要性能指标 | 第19-22页 |
| ·霍耳板 | 第22-28页 |
| ·分裂漏MAGFET | 第28-30页 |
| ·矩形分裂漏MAGFET | 第28-29页 |
| ·扇形分裂漏MAGFET | 第29-30页 |
| ·分裂漏MAGFET相对灵敏度的主要研究方法 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 半导体器件数值模拟 | 第33-50页 |
| ·半导体器件模拟的历史 | 第33页 |
| ·基本半导体方程 | 第33-36页 |
| ·基本半导体方程解析分析 | 第36-42页 |
| ·变量选择 | 第36-38页 |
| ·边界条件 | 第38-41页 |
| ·方程参数归一化(scaling) | 第41-42页 |
| ·有限差分法简介 | 第42-46页 |
| ·直接差分 | 第42-44页 |
| ·箱形积分 | 第44-45页 |
| ·Scharfetter-Gummel离散 | 第45-46页 |
| ·有限元法简介 | 第46-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第4章 扇形分裂漏MAGFET二维器件模拟研究 | 第50-66页 |
| ·扇形分裂漏MAGFET的二维器件模拟 | 第50-56页 |
| ·基本方程与边界条件 | 第50-51页 |
| ·扇形分裂漏MAGFET模拟 | 第51-52页 |
| ·磁场中载流子迁移率 | 第52-53页 |
| ·扇形MAGFET相对灵敏度 | 第53页 |
| ·器件数值模拟软件 | 第53-54页 |
| ·数值模拟结果 | 第54-56页 |
| ·扇形分裂漏MAGFET性能测试 | 第56-59页 |
| ·阈值电压测试 | 第56-57页 |
| ·输出特性曲线测试 | 第57-58页 |
| ·相对灵敏度测试 | 第58-59页 |
| ·扇形分裂漏MAGFET相对灵敏度模型的验证 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-66页 |
| 第5章 扇形分裂漏MAGFET相对灵敏度解析模型 | 第66-77页 |
| ·保角变换 | 第66-68页 |
| ·扇形分裂漏MAGFET灵敏度的解析模型 | 第68-72页 |
| ·矩形MAGFET几何修正因子 | 第68-69页 |
| ·扇形MAGFET几何因子 | 第69-71页 |
| ·扇形分裂漏MAGFET相对灵敏度模型的建立 | 第71-72页 |
| ·解析模型验证与分析 | 第72-74页 |
| ·本章小结 | 第74-77页 |
| 第6章 CMOS磁敏传感器集成电路设计 | 第77-82页 |
| ·扇形MAGFET同步采样工作模式 | 第77-78页 |
| ·集成电路系统设计 | 第78-79页 |
| ·动态二次扫描功能的相关二次采样电路 | 第79-81页 |
| ·本章小结 | 第81-82页 |
| 第7章 总结与展望 | 第82-85页 |
| ·论文总结 | 第82-83页 |
| ·未来工作展望 | 第83-85页 |
| 参考文献 | 第85-91页 |
| 致谢 | 第91-92页 |
| 论文发表情况 | 第92页 |
