GaAs/GaAlAs材料双异质结BOA型光开关研究
| 第一章 绪论 | 第1-32页 |
| 1．1 引言 | 第8-11页 |
| 1．2 光开关与光开关阵列的最新进展 | 第11-24页 |
| 1．3 国内状况 | 第24-26页 |
| 1．4 本论文意义及工作 | 第26-28页 |
| 参考文献 | 第28-32页 |
| 第二章 BOA光开关原理 | 第32-43页 |
| 2．1 电光调制原理 | 第32-34页 |
| 2．2 GaAs／GaAlAs异质结材料波导 | 第34-35页 |
| 2．3 BOA光开关及各部分工作原理 | 第35-41页 |
| 2．4 小结 | 第41-42页 |
| 参考文献 | 第42-43页 |
| 第三章 脊波导及结构设计 | 第43-62页 |
| 3．1 BOA光开关脊波导设计 | 第43-53页 |
| 3．2 BOA光开关结构设计 | 第53-59页 |
| 3．3 小结 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-62页 |
| 第四章 电极结构设计 | 第62-76页 |
| 4．1 电极特性分析方法 | 第62-65页 |
| 4．2 BOA光开关不同调制方式分析 | 第65-68页 |
| 4．3 不同传播方向与调制效率的分析 | 第68-69页 |
| 4．4 电极结构与BOA光开关消光比的分析 | 第69-72页 |
| 4．5 电极参数及调制带宽的确定 | 第72-73页 |
| 4．6 电极对准工艺 | 第73-75页 |
| 4．7 小结 | 第75页 |
| 参考文献 | 第75-76页 |
| 第五章 行波电极型BOA光开关设计 | 第76-86页 |
| 5．1 行波电极基本原理 | 第76-78页 |
| 5．2 谱域法基本理论 | 第78-81页 |
| 5．3 行波电极型BOA光开关微波特性分析 | 第81-84页 |
| 5．4 小结 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-86页 |
| 第六章 BOA光开关制作工艺研究 | 第86-92页 |
| 6．1 外延片准备 | 第86-87页 |
| 6．2 光刻板准备 | 第87-88页 |
| 6．3器件制作工艺及流程 | 第88-92页 |
| 第七章 芯片的制作结果及测试 | 第92-101页 |
| 7．1 器件制作结果 | 第92-95页 |
| 7．2 BOA光开关的测试 | 第95-98页 |
| 7．3 BOA光开关测试结果 | 第98-100页 |
| 参考文献 | 第100-101页 |
| 第八章 总结 | 第101-105页 |
| 致谢 | 第105-106页 |
| 附录：攻读博士期间发表的论文 | 第106页 |
