| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·课题背景 | 第9-10页 |
| ·研究目的和意义 | 第10页 |
| ·研究内容和主要工作 | 第10-13页 |
| 第二章 MEMS驱动器 | 第13-21页 |
| ·MEMS及MEMS驱动器 | 第13-14页 |
| ·MEMS | 第13页 |
| ·MEMS驱动器 | 第13-14页 |
| ·MEMS驱动器原理 | 第14-19页 |
| ·热驱动器 | 第14页 |
| ·形状记忆合金驱动器(SAM) | 第14-15页 |
| ·压电驱动器 | 第15-16页 |
| ·电磁驱动器 | 第16-17页 |
| ·静电驱动器 | 第17-18页 |
| ·各种驱动机制的性能比较 | 第18-19页 |
| ·MEMS静电驱动器的优势与课题挑战 | 第19-21页 |
| ·MEMS静电驱动器优势 | 第19-20页 |
| ·MEMS静电驱动器的挑战课题 | 第20-21页 |
| 第三章 MEMS平行板静电驱动运动特性研究现状 | 第21-33页 |
| ·MEMS静电驱动工作受限分析 | 第21页 |
| ·MEMS静电驱动平行极板结构 | 第21-23页 |
| ·平行板结构物理建模 | 第21-22页 |
| ·工作机理分析 | 第22-23页 |
| ·电压控制改进方案—电容负反馈模型研究 | 第23-26页 |
| ·电容负反馈方案 | 第23-25页 |
| ·电容负反馈模型改进效果分析 | 第25-26页 |
| ·静态势能分析法解析电容负反馈模型 | 第26-31页 |
| ·平行板模型系统势能 | 第27页 |
| ·平行板系统静态平衡区间 | 第27-29页 |
| ·负反馈改进模型移动距离和电源电压的函数关系 | 第29页 |
| ·负反馈改进模型动态实现过程仿真 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-33页 |
| 第四章 状态空间分析法研究平行板结构运动特性 | 第33-51页 |
| ·状态反馈提高平行板系统运动特性设计思想 | 第33-34页 |
| ·方案设计 | 第33页 |
| ·理论架构 | 第33-34页 |
| ·实验平台 | 第34页 |
| ·二阶系统理论 | 第34-36页 |
| ·二阶系统标准方程 | 第34-35页 |
| ·欠阻尼二阶系统的单位阶跃相应 | 第35页 |
| ·动态过程和稳态过程 | 第35-36页 |
| ·动态性能和稳态性能 | 第36页 |
| ·系统校正方法与负反馈理论 | 第36-42页 |
| ·负反馈理论 | 第37-38页 |
| ·基本控制规律 | 第38-41页 |
| ·传递函数 | 第41-42页 |
| ·状态空间理论 | 第42-44页 |
| ·状态空间法分析法 | 第42-43页 |
| ·状态空间分析法的基本概念 | 第43-44页 |
| ·状态反馈方案设计 | 第44-49页 |
| ·状态空间下的平行板模型 | 第44-45页 |
| ·模型状态空间描述 | 第45-46页 |
| ·状态反馈引入 | 第46-47页 |
| ·状态反馈设计 | 第47-48页 |
| ·反馈增益 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 第五章 MEMS静电驱动状态空间法Simulink平台仿真实现 | 第51-63页 |
| ·Simulink仿真工具概述 | 第51-55页 |
| ·Simulink产品介绍 | 第51-52页 |
| ·仿真模块介绍 | 第52-54页 |
| ·Simulink提供的主要功能 | 第54-55页 |
| ·仿真平台建立 | 第55-56页 |
| ·仿真设定 | 第56-61页 |
| ·Solver页仿真参数设定 | 第56-58页 |
| ·Workspace设定 | 第58-59页 |
| ·Diagnostics页仿真参数设定 | 第59-60页 |
| ·仿真器启动 | 第60-61页 |
| ·方案运行 | 第61-62页 |
| ·系统指标选择 | 第61页 |
| ·运行结果对比 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第六章 总结与展望 | 第63-65页 |
| ·总结 | 第63页 |
| ·展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 致谢 | 第69-71页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第71页 |