基于MEMS技术的光纤声传感器研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-7页
目录	第7-9页
第一章 引言	第9-33页
·声传感技术	第9-13页
·声传感器技术基础	第9-12页
·声传感器种类及发展概况	第12-13页
·超声波检测概述	第13-16页
·超声波检测技术发展及应用	第14-16页
·MEMS声传感技术	第16-21页
·MEMS技术概述	第16-18页
·MEMS微传声器种类及发展	第18-21页
·光纤声传感技术	第21-31页
·光纤传声器发展及应用	第22-28页
·MEMS光纤声传感器研究进展	第28-31页
·本文的主要工作	第31-33页
·本文的目的和意义	第31-32页
·论文内容	第32-33页
第二章 MEMS光纤声传感器设计理论	第33-50页
·F-P腔 MEMS光纤微声传感器光学理论基础	第33-42页
·多光束干涉效应	第34-37页
·F-P腔主要特性参数	第37-38页
·F-P腔声传感器件光学设计与模拟	第38-42页
·MEMS双面衍射光栅超声传感器光学设计	第42-50页
·利用光栅结构的MEMS器件	第42-45页
·MEMS光栅超声传感器设计	第45-46页
·光学特性分析	第46-50页
第三章 F-P腔 MEMS光纤微声传感器工艺制作	第50-74页
·F-P腔 MEMS光纤微声传感器结构设计	第50-56页
·敏感薄膜设计与模拟	第50-56页
·工艺制作及测试	第56-73页
·低表面粗糙度的硅刻蚀	第57-60页
·Pyrex玻璃深刻蚀工艺	第60-65页
·光学介质膜图形化工艺	第65-67页
·气压平衡设计	第67-68页
·器件工艺流程	第68-70页
·器件完成结果及测试分析	第70-73页
·本章小结	第73-74页
第四章 MEMS衍射光栅超声传感器工艺研究及制作	第74-89页
·MEMS光栅超声传感器设计	第74-78页
·光栅结构分析	第75-78页
·双面光栅结构器件工艺制作	第78-81页
·双面光栅的工艺制作流程	第79-81页
·器件测试和结果讨论	第81-89页
第五章 总结	第89-91页
·本论文的主要内容	第89-90页
·下一步工作的展望	第90-91页
参考文献	第91-95页
硕士期间发表文章	第95-96页
致谢	第96-97页
个人简历	第97-98页