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离子注入掺Er富硅氧化硅材料研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-7页
目录第7-10页
第一章 绪论第10-26页
   ·引言第10-11页
   ·ER元素简介第11-12页
   ·EDFA与EDWA第12-15页
     ·EDFA发展进程第12-13页
     ·EDWA的提出第13-14页
     ·EDFA与EDWA比较第14-15页
   ·决定EDWA增益的因素第15-18页
     ·铒的固溶度第15-16页
     ·泵浦光波长第16页
     ·泵浦光吸收第16页
     ·浓度淬灭效应第16-17页
     ·激发态吸收第17-18页
     ·温度淬灭效应第18页
   ·EDWA研究进展第18-21页
   ·硅基EDWA研究第21-23页
   ·本论文内容第23-26页
第二章 硅基掺铒发光材料导论第26-33页
   ·引言第26-28页
   ·掺铒单晶硅光学特性第28-30页
     ·Er在单晶硅中的溶解度第28页
     ·Er在晶体硅中的激发和去激发第28-30页
   ·掺铒富硅氧化硅材料(ERSRSO)第30-31页
     ·ErSRSO模型第31页
   ·本章小结第31-33页
第三章 掺铒富硅氧化硅材料制备与表征第33-55页
   ·引言第33页
   ·离子注入法制备ERSRSO材料第33-35页
   ·材料微观结构表征第35-43页
     ·RBS分析第35-37页
     ·XRD分析第37-39页
     ·TEM分析第39-40页
     ·Raman光谱分析第40-43页
   ·讨论第43-44页
   ·ER离子在材料中的分布第44-45页
   ·XPS及其演化分析第45-50页
   ·共溅射沉积法制备ERSRSO材料第50-54页
     ·样品制备与表征第50-52页
     ·样品的光致发光特性第52-54页
   ·本章小结第54-55页
第四章 掺铒富硅氧化硅材料的光致发光第55-69页
   ·引言第55页
   ·光致发光测试系统第55-57页
   ·ERSRSO中SI-NC发光第57-59页
     ·Si-nc光致发光谱第57-58页
     ·退火对发光影响第58-59页
   ·ERSRSO中ER离子发光第59-60页
   ·SI-NC与ER发光关系第60-62页
   ·ER发光的温度淬灭第62-67页
   ·本章小结第67-69页
第五章 ERSRSO系统速率方程第69-78页
   ·引言第69页
   ·常用速率方程及其解第69-71页
     ·直接激发Er~(3+)的速率方程和吸收截面第69-70页
     ·间接激发Er~(3+)的速率方程和有效吸收截面第70-71页
   ·ERSRSO材料的速率方程第71-74页
   ·实验结果与讨论第74-76页
   ·本章小结第76-78页
第六章 SI-NC与ER~(3+)耦合机制及耦合范围第78-93页
   ·引言第78页
   ·FORSTER模型简介第78-81页
     ·Forster模型适用系统第78-79页
     ·Forster模型应用领域第79-80页
     ·Forster模型原理第80-81页
   ·FORSTER模型在ERSRSO材料中的应用第81-82页
   ·SI-NC与ER~(3+)耦合范围第82-83页
   ·实验与分析第83-91页
     ·理论基础第83-84页
     ·实验方法第84-85页
     ·结果与讨论第85-91页
   ·本章小结第91-93页
第七章 结论第93-95页
参考文献第95-107页
附录 本论文缩略语第107-109页
攻读博士期间发表的学术论文第109-111页
致谢第111-112页
个人简历第112-113页
学位论文独创性声明第113页
学位论文使用授权声明第113页

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