MOCVD系统温度控制算法研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·半导体材料发展历程与发展方向 | 第7-8页 |
| ·半导体材料的发展历程 | 第7-8页 |
| ·当前半导体材料的发展方向 | 第8页 |
| ·MOCVD概况 | 第8-10页 |
| ·MOCVD简介 | 第8-9页 |
| ·MOCVD技术的基本原理 | 第9-10页 |
| ·MOCVD技术展望 | 第10页 |
| ·MOCVD系统的控制要求 | 第10-11页 |
| ·压力、流量控制 | 第10页 |
| ·温度控制 | 第10-11页 |
| ·主要工作和论文安排 | 第11-13页 |
| ·本人做的主要工作 | 第11页 |
| ·论文内容安排 | 第11-13页 |
| 第二章 MOCVD温度控制系统结构 | 第13-17页 |
| ·MOCVD温度控制系统的硬件组成 | 第13-15页 |
| ·结构组成 | 第13页 |
| ·各部分功能 | 第13-15页 |
| ·MOCVD反应室温度控制的特点 | 第15-16页 |
| ·温度控制系统的特点 | 第15页 |
| ·MOCVD反应室温度控制的特点 | 第15-16页 |
| ·本章小结 | 第16-17页 |
| 第三章 MOCVD温度控制系统数学模型 | 第17-25页 |
| ·静态模型的建立 | 第18-19页 |
| ·动态模型辨识 | 第19-24页 |
| ·系统辨识的定义及原理 | 第19-21页 |
| ·系统辨识的经典方法 | 第21页 |
| ·阶跃响应法系统辨识 | 第21-22页 |
| ·最小二乘理论 | 第22-23页 |
| ·基于最小二乘理论的经典辩识 | 第23-24页 |
| ·MOCVD系统的动态模型 | 第24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第四章 MOCVD温度控制算法的仿真研究 | 第25-45页 |
| ·PID控制 | 第25-29页 |
| ·PID控制原理 | 第25-26页 |
| ·PID控制器参数的调节规律 | 第26-27页 |
| ·PID控制器参数的整定 | 第27-29页 |
| ·基于模糊自适应整定PID控制 | 第29-35页 |
| ·模糊自适应PID控制原理 | 第29-30页 |
| ·模糊自适应PID模型 | 第30-33页 |
| ·模糊自适应PID+Smith预估 | 第33-35页 |
| ·基于模糊免疫PID控制 | 第35-38页 |
| ·模糊免疫PID控制器的原理 | 第35-36页 |
| ·模糊控制器的设计 | 第36-37页 |
| ·模糊免疫PID控制器的设计 | 第37-38页 |
| ·MOCVD温度控制系统的仿真 | 第38-43页 |
| ·模糊免疫PID的仿真 | 第38页 |
| ·模糊自适应PID的仿真 | 第38-40页 |
| ·模糊自适应PID+Smith预估的仿真 | 第40-41页 |
| ·改进的模糊自适应PID+Smith预估 | 第41-43页 |
| ·仿真分析 | 第43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第五章 MOCVD智能温度控制算法的实现 | 第45-57页 |
| ·控制模式的概述 | 第45-47页 |
| ·手动控制 | 第45页 |
| ·自动控制 | 第45-46页 |
| ·手动控制、自动控制的切换 | 第46-47页 |
| ·控制程序的设计 | 第47-53页 |
| ·控制程序框图设计 | 第47-51页 |
| ·输入数据及输出数据的处理 | 第51-53页 |
| ·闭环程序的实现及运行结果 | 第53-56页 |
| ·变参数增量式PI控制 | 第53-54页 |
| ·增量式模糊控制 | 第54-55页 |
| ·运行结果 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第六章 工作总结与展望 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-63页 |
| 研究成果 | 第63-64页 |
