MOCVD控制系统的优化设计
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·MOCVD的基本概念 | 第7-13页 |
| ·什么叫MOCVD | 第7-8页 |
| ·MOCVD技术的特点 | 第8-9页 |
| ·MOCVD的设计发展 | 第9页 |
| ·MOCVD工作原理 | 第9-11页 |
| ·MOCVD系统结构 | 第11-13页 |
| ·MOCVD在我国的发展 | 第13-14页 |
| ·国内行业现状 | 第13页 |
| ·MOCVD设备的研制意义 | 第13-14页 |
| ·主要工作介绍 | 第14-15页 |
| 第二章 MOCVD系统方案定型 | 第15-27页 |
| ·工业控制自动化的现状简介 | 第15-18页 |
| ·工业PC | 第15-16页 |
| ·集散控制系统DCS | 第16-17页 |
| ·现场总线控制系统FCS | 第17页 |
| ·PLC控制系统 | 第17-18页 |
| ·S7-300PLC及其编程软件STEP7简介 | 第18-24页 |
| ·S7-300系列PLC系统结构 | 第18-20页 |
| ·S7-300的CPU及电源模块 | 第20-21页 |
| ·S7-300的输入/输出模块 | 第21-22页 |
| ·I/O模块地址的确定 | 第22-23页 |
| ·STEP 7简介 | 第23-24页 |
| ·MOCVD控制系统的方案选择 | 第24-27页 |
| ·下位机选型 | 第24页 |
| ·上位机选型 | 第24-27页 |
| 第三章 MOCVD控制系统的设计 | 第27-39页 |
| ·MOCVD控制流程 | 第27-29页 |
| ·MOCVD工艺流程 | 第27-28页 |
| ·MOCVD控制流程 | 第28-29页 |
| ·MOCVD系统的气路及温度控制 | 第29-31页 |
| ·控制柜设计 | 第31-32页 |
| ·硬件配置和组态 | 第32-35页 |
| ·PLC硬件配置 | 第32-34页 |
| ·PLC硬件组态 | 第34页 |
| ·PLC与WinCC通信 | 第34-35页 |
| ·报警及故障处理 | 第35-36页 |
| ·系统保护措施 | 第36-39页 |
| ·系统的干扰分析 | 第36-37页 |
| ·系统的抗干扰措施 | 第37-39页 |
| 第四章 上位机监控界面的优化设计 | 第39-59页 |
| ·监控界面的设计原则 | 第39页 |
| ·WinCC简介 | 第39-42页 |
| ·简介 | 第39-40页 |
| ·性能特点 | 第40-41页 |
| ·WinCC V6.0的新增功能 | 第41-42页 |
| ·监控系统的功能及实现方法 | 第42-47页 |
| ·主要功能 | 第42-43页 |
| ·监控界面的设计实现 | 第43-44页 |
| ·监控界面及其基本操作 | 第44-47页 |
| ·Excel配方下载程序的编写 | 第47-50页 |
| ·监控界面的运行 | 第50-51页 |
| ·监控系统的优化 | 第51-55页 |
| ·配方下载程序优化 | 第51-53页 |
| ·数据自动保存 | 第53-54页 |
| ·进度条及系统时间显示 | 第54-55页 |
| ·串口通讯程序的编写 | 第55-59页 |
| ·异步串口通讯简介 | 第55-56页 |
| ·动态连接库(DLL)的调用 | 第56-57页 |
| ·数据处理 | 第57-59页 |
| 第五章 总结 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-65页 |
| 研究成果 | 第65-66页 |
