| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-28页 |
| ·研究背景 | 第15-16页 |
| ·稀磁半导体的研究进展 | 第16-18页 |
| ·稀磁半导体的概念 | 第16页 |
| ·稀磁半导体的基本性质 | 第16-17页 |
| ·稀磁半导体的研究与进展 | 第17-18页 |
| ·GaN基稀磁半导体 | 第18-22页 |
| ·GaN的基本性质 | 第18-19页 |
| ·GaN基稀磁半导体的研究进展 | 第19-22页 |
| ·Mn掺杂GaN的实验进展 | 第22-25页 |
| ·结构分析 | 第22-23页 |
| ·光学特性 | 第23页 |
| ·磁学特性 | 第23-25页 |
| ·存在的问题 | 第25页 |
| ·本文的主要研究工作 | 第25-28页 |
| 第二章 Mn掺杂GaN的第一性原理计算 | 第28-46页 |
| ·计算程序简介 | 第28-32页 |
| ·晶体结构的优化 | 第28-29页 |
| ·态密度（DOS）和分波态密度（PDOS）的计算 | 第29-30页 |
| ·光学性质的计算 | 第30-32页 |
| ·模型结构和计算方法 | 第32-34页 |
| ·理论模型 | 第32-33页 |
| ·计算方法 | 第33-34页 |
| ·结果与讨论 | 第34-45页 |
| ·GaN的电子结构 | 第34-37页 |
| ·掺杂计算的结果与讨论 | 第37-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第三章 GaN基稀磁半导体的制备方法及实验设计 | 第46-64页 |
| ·离子注入的工艺特点及基本原理 | 第46-52页 |
| ·离子注入工艺优势 | 第46-47页 |
| ·离子注入材料的物理过程 | 第47-49页 |
| ·注入离子在靶中的浓度分布 | 第49-50页 |
| ·单晶靶中离子注入的沟道效应 | 第50-51页 |
| ·离子注入损伤 | 第51-52页 |
| ·离子注入的退火 | 第52-54页 |
| ·离子注入退火目的 | 第52-53页 |
| ·离子注入的退火方法 | 第53页 |
| ·离子注入退火所存在的困难 | 第53-54页 |
| ·Mn离子注入制备GaN基稀磁半导体的TRIM模拟 | 第54-57页 |
| ·Mn离子注入GaN射程分布的模拟 | 第54-55页 |
| ·Mn离子注入GaN浓度分布的模拟 | 第55-57页 |
| ·离子注入和退火的实验与测试 | 第57-63页 |
| ·Mn离子注入GaN的注入条件设计 | 第57-59页 |
| ·表面形貌 | 第59-61页 |
| ·退火对注入损伤的修复分析 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第四章 Mn离子注入GaN微结构和光学特性的研究 | 第64-88页 |
| ·Mn离子注入非故意掺杂GaN微结构的研究 | 第64-75页 |
| ·X射线能量色散谱研究 | 第64-65页 |
| ·X射线衍射（XRD）研究 | 第65-67页 |
| ·拉曼散射（Raman）研究 | 第67-75页 |
| ·Mn离子注入非故意掺杂GaN光致发光的研究 | 第75-83页 |
| ·GaN中基本的辐射跃迁过程及几种具体发光过程的光谱特征 | 第75-78页 |
| ·存在的问题和争议 | 第78-79页 |
| ·Mn离子注入非故意掺杂GaN光致发光谱的测试分析 | 第79-83页 |
| ·Mn离子注入Mg掺杂GaN微结构和光学特性的研究 | 第83-86页 |
| ·Mn离子注入Mg掺杂GaN微结构的研究 | 第83-84页 |
| ·Mn离子注入Mg掺杂GaN光致发光的研究 | 第84-86页 |
| ·本章小结 | 第86-88页 |
| 第五章 Mn离子注入GaN磁学和电学特性的研究 | 第88-103页 |
| ·Mn离子注入未掺杂GaN磁学特性的研究 | 第88-93页 |
| ·振动样品磁强计(VSM) | 第88-89页 |
| ·M-H测试分析 | 第89-91页 |
| ·M-T测试分析 | 第91页 |
| ·结果与讨论 | 第91-93页 |
| ·Mn离子注入未掺杂GaN电学特性的研究 | 第93-98页 |
| ·汞探针C-V测试 | 第93-94页 |
| ·霍尔测试 | 第94-96页 |
| ·结果与讨论 | 第96-98页 |
| ·Mn离子注入Mg掺杂GaN磁学和电学特性的研究 | 第98-102页 |
| ·Mn离子注入Mg掺杂GaN磁学特性的研究 | 第98-100页 |
| ·Mn离子注入Mg掺杂GaN电学特性的研究 | 第100-102页 |
| ·本章小结 | 第102-103页 |
| 第六章 总结 | 第103-108页 |
| 致谢 | 第108-109页 |
| 参考文献 | 第109-121页 |
| 第一章 | 第109-114页 |
| 第二章 | 第114-115页 |
| 第三章 | 第115-116页 |
| 第四章 | 第116-119页 |
| 第五章 | 第119-121页 |
| 作者攻读博士期间的研究成果和参加的科研项目 | 第121-123页 |
| 一、科研论文 | 第121-122页 |
| 二、奖励和荣誉 | 第122页 |
| 三、参加的科研项目 | 第122-123页 |
