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高过载条件下微型加速度计的动态分析

摘要第1-6页
Abstract第6-9页
1 绪论第9-14页
   ·课题研究背景及意义第9-10页
   ·MEMS技术第10页
   ·国内外研究状况第10-12页
     ·国外研究状况第10-11页
     ·国内研究状况第11-12页
   ·本课题的主要研究内容第12-14页
2 76mm口径高膛压火炮的内弹道计算第14-21页
   ·基本假设第14-15页
   ·弹道计算第15-17页
   ·内弹道性能的数值模拟第17-20页
   ·本章小结第20-21页
3 高过载微加速度计的设计及理论分析第21-44页
   ·高过载微加速度计方案设计第21-26页
     ·设计原则第21-22页
     ·几种典型的硅微加速度计第22-24页
     ·方案确定第24-25页
     ·工作原理第25-26页
     ·结构设计第26页
   ·弹性元件的力学分析及尺寸设计第26-34页
     ·相关参量的理论推导第27-30页
     ·尺寸设计第30-34页
   ·特性分析第34-40页
     ·静态特性第35-37页
     ·动态特性第37-40页
   ·阻尼分析第40-41页
   ·接口电路及灵敏度分析第41-43页
   ·本章小结第43-44页
4 弹性元件的有限元仿真分析第44-57页
   ·有限元简介第44-46页
     ·有限元理论基本思想第44-45页
     ·ANSYS有限元软件第45-46页
   ·静力学分析第46-52页
     ·建立几何模型第47-48页
     ·几何模型转化为有限元模型第48-49页
     ·网格划分第49页
     ·求解第49-50页
     ·查看结果第50-52页
   ·瞬态动力学分析第52-54页
     ·建立初始条件及加载求解第52-53页
     ·后处理第53-54页
   ·模态分析第54-56页
   ·本章小结第56-57页
5 结论与展望第57-59页
   ·结论第57页
   ·展望第57-59页
致谢第59-60页
参考文献第60-64页

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