多干涉图组合测试中的空间一致性研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 1 引言 | 第7-9页 |
| ·课题背景 | 第7-8页 |
| ·国内外研究现状 | 第8页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第8-9页 |
| 2 数字球面干涉仪 | 第9-14页 |
| ·移相干涉技术 | 第9-10页 |
| ·移相式数字球面干涉仪 | 第10-13页 |
| ·移相式数字球面干涉仪组成 | 第10-12页 |
| ·移相式数字球面干涉仪工作原理 | 第12-13页 |
| ·本章小结 | 第13-14页 |
| 3 多对象干涉测试中的空间一致性 | 第14-25页 |
| ·干涉仪中的坐标体系 | 第14-17页 |
| ·空间坐标与像素坐标 | 第14-15页 |
| ·空间一致性的定义 | 第15页 |
| ·空间一致性的指标参数及其提取方法 | 第15-17页 |
| ·多对象干涉测试中的空间一致性要求 | 第17-24页 |
| ·三平面互检 | 第17-18页 |
| ·四步法均匀性绝对测量 | 第18-19页 |
| ·子孔径拼接 | 第19-20页 |
| ·球面绝对检验中的空间一致性 | 第20-22页 |
| ·柱面绝对检验中的空间一致性 | 第22-23页 |
| ·非球面绝对检验 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 4 空间一致性辅助调整算法的实现 | 第25-35页 |
| ·PSI移相干涉软件包功能分析 | 第25-27页 |
| ·非球面绝对检验软件包的功能规划 | 第27-31页 |
| ·功能层次划分 | 第27-28页 |
| ·测试需求分析与界面窗口规划 | 第28-30页 |
| ·非球面绝对检验核心软件的嵌入 | 第30-31页 |
| ·辅助调整算法的实现 | 第31-34页 |
| ·干涉图旋转坐标变换 | 第31-33页 |
| ·辅助调整算法 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 5 非球面绝对检验 | 第35-47页 |
| ·非球面的基本特性 | 第35-36页 |
| ·非球面测试技术 | 第36页 |
| ·非球面绝对检验的必要性 | 第36-38页 |
| ·非球面绝对检验法 | 第36页 |
| ·非球面绝对检验法每步分离的误差 | 第36-38页 |
| ·非球面绝对检验中CGH的定位技术 | 第38-41页 |
| ·环状定位 | 第38-39页 |
| ·扇区定位 | 第39-41页 |
| ·非球面绝对检验的实验测量 | 第41-46页 |
| ·实验测量装置 | 第41-43页 |
| ·实验过程与结果 | 第43-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 6 总结 | 第47-48页 |
| 致谢 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-52页 |
| 附录 | 第52-54页 |
