非球面环形子孔径拼接干涉测试方法研究
摘要 | 第1-4页 |
Abstract | 第4-7页 |
1 绪论 | 第7-19页 |
·课题的研究背景 | 第7-9页 |
·国内外发展现状 | 第9-10页 |
·非球面常用检测方法 | 第10-17页 |
·本论文的研究内容以及解决的问题 | 第17-19页 |
2 非球面像差特性介绍 | 第19-24页 |
·非球面的分类及主要光学性质 | 第19-20页 |
·非球面的主要结构参数 | 第20-24页 |
3 环形子孔径拼接测试的原理及方法 | 第24-76页 |
·测试基本原理 | 第24-27页 |
·子孔径拼接算法 | 第27-29页 |
·逐次拼接 | 第27-28页 |
·综合优化 | 第28-29页 |
·数据处理方法 | 第29-30页 |
·原理仿真与分析 | 第30-75页 |
·理论计算 | 第30-38页 |
·待测元件及测试环境的模拟 | 第38-55页 |
·实验结果分析 | 第55-58页 |
·综合优化全局拼接实验 | 第58-61页 |
·噪声实验 | 第61-65页 |
·Zernike多项式拟合及消倾斜处理 | 第65-68页 |
·环域Zernike多项式拟合研究 | 第68-75页 |
·本章小结 | 第75-76页 |
4 仿真系统性能及精度分析 | 第76-80页 |
·系统稳定性与重复性实验 | 第76-78页 |
·系统测量范围 | 第78-79页 |
·误差分析 | 第79-80页 |
5 结论 | 第80-82页 |
致谢 | 第82-83页 |
参考文献 | 第83-86页 |
附录 | 第86-112页 |