| 致谢 | 第1-6页 |
| 中文摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-10页 |
| 第一章 引言 | 第10-17页 |
| ·课题提出的背景和意义 | 第10-11页 |
| ·几种纳米测量方法及原理 | 第11-15页 |
| ·偏振干涉仪 | 第11页 |
| ·F-P干涉仪测量法 | 第11-12页 |
| ·外差干涉仪 | 第12-13页 |
| ·激光光栅干涉仪 | 第13-14页 |
| ·光学干涉、X射线干涉及扫描探针显微镜相结合的测量仪 | 第14页 |
| ·光学干涉测量技术的展望及需要解决的问题 | 第14-15页 |
| ·光纤干涉仪 | 第15页 |
| ·本论文的主要工作 | 第15-16页 |
| ·本章小结 | 第16-17页 |
| 第二章 基于波分复用的大量程高分辨率光纤位移测量系统 | 第17-31页 |
| ·测量系统的介绍 | 第17-22页 |
| ·波分复用技术 | 第18-19页 |
| ·光纤布拉格光栅(FBG)的工作原理 | 第19页 |
| ·光纤自准直透镜 | 第19-22页 |
| ·合成波测量原理 | 第22-23页 |
| ·相位解调问题的分析和解决 | 第23-25页 |
| ·相位测量技术 | 第23-24页 |
| ·位移扩大技术 | 第24-25页 |
| ·大量程高分辨率位移测量的系统实验 | 第25-30页 |
| ·实验系统 | 第25-27页 |
| ·理论分析 | 第27页 |
| ·实验结果 | 第27-30页 |
| ·数据处理 | 第30页 |
| ·小结 | 第30-31页 |
| 第三章 有反馈补偿的高稳定的测量系统 | 第31-40页 |
| ·加入反馈系统的测量原理 | 第31-33页 |
| ·光学系统 | 第31-32页 |
| ·反馈原理 | 第32-33页 |
| ·反馈控制环节的电路与分析 | 第33-37页 |
| ·实验结果 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 基于LABVIEW的数据采集与位移计算方法 | 第40-48页 |
| ·LabVIEW简介 | 第40页 |
| ·硬件的选择 | 第40-41页 |
| ·USB-5132性能指标的介绍 | 第41-42页 |
| ·软件设计方案 | 第42-43页 |
| ·程序设计 | 第43-46页 |
| ·数据采集模块 | 第43-45页 |
| ·位移解调模块 | 第45-46页 |
| ·实验结果 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 结论 | 第48-50页 |
| ·本论文的研究总结 | 第48-49页 |
| ·今后需要继续深入的工作 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-53页 |
| 发表的论文 | 第53-54页 |
| 作者简历 | 第54-56页 |
| 学位论文数据集 | 第56页 |
