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CMOS集成电路ESD保护研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-10页
第一章 绪论第10-12页
   ·静电放电问题第10页
   ·制程改进对静电放电的影响第10-11页
   ·静电的可利用之处与危害第11-12页
第二章 静电放电概述及测试第12-26页
   ·静电的成因第12-13页
   ·静电放电破坏机制第13-18页
     ·人体放电模型第13-15页
     ·机器放电模型第15-16页
     ·元件充电模型第16-17页
     ·电场感应模型第17-18页
   ·静电损伤的失效模式及机理第18-19页
     ·静电损伤的失效模式第18页
     ·静电损伤的失效机理第18-19页
   ·静电放电测试程序第19-22页
   ·静电的测试方法第22-23页
   ·静电放电测试的判定标准第23页
   ·静电放电测试结果的判断第23-26页
第三章 静电放电保护电路基本元件第26-42页
   ·电阻第26-27页
   ·二极管第27-29页
   ·双极型晶体管第29-31页
   ·金属氧化物半导体场效应晶体管第31-35页
   ·ESD 作用下的晶体管的工作第35-38页
   ·可控硅(SCR)第38-42页
第四章 静电放电保护电路概念和策略第42-50页
   ·有效的ESD 保护电路的质量第43-46页
   ·ESD 保护设计方法第46-50页
第五章 CMOS 集成电路的静电防护技术第50-63页
   ·制程上的改进方法第52-55页
   ·元件上的改进方法第55-60页
     ·横向LSCR 器件第55-57页
     ·互补LVTSCR 结构设计第57-58页
     ·大电流触发SCRHITSCR 和高保持电压SCRHVTSCR第58-60页
   ·电路上的改进方法第60-63页
     ·栅极耦合(Gate-Couple)技术第60-62页
     ·互补式栅极耦合静电放电保护电路第62-63页
第六章 全芯片防护设计第63-76页
   ·内部电路异常损伤问题第63-69页
     ·ESD第63-65页
     ·脚对脚的ESD 测试第65-67页
     ·VDD 脚对VSS 脚的ESD 测试第67-69页
   ·VDD 与VSS 之间的ESD 防护第69-74页
     ·VDD 与VSS 之间的寄生元件第69-70页
     ·先进的防护技术第70-74页
   ·先进制程的影响第74-76页
第七章 测量结果分析第76-88页
   ·电路结构第76-77页
   ·版图结构第77页
   ·测试结果第77-78页
   ·测试结果分析第78-88页
     ·DIODE第78-80页
     ·NMOS第80-85页
     ·LVSCR(Low-Voltage Semiconductor Control Rectifier)第85-88页
第八章 结论及今后的工作第88-90页
   ·结论第88-89页
   ·今后的工作第89-90页
致谢第90-91页
参考文献第91-93页
攻读硕士学位期间取得的研究成果第93-94页
个人简历第94-95页

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