单晶硅太阳能电池扩散工艺与电学特性仿真研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| ·太阳能与光伏利用 | 第8-11页 |
| ·晶硅太阳能电池的发展 | 第11-14页 |
| ·单晶硅太阳能电池的发展 | 第12-13页 |
| ·多晶硅太阳能电池的发展 | 第13-14页 |
| ·国内外太阳能光伏工艺仿真技术概述 | 第14-16页 |
| ·本论文的研究意义、目的及内容 | 第16-18页 |
| ·本论文的研究意义和目的 | 第16-17页 |
| ·本论文的主要研究工作 | 第17页 |
| ·本论文的研究方法 | 第17-18页 |
| 第二章 单晶硅太阳能电池扩散技术 | 第18-35页 |
| ·硅中杂质扩散的基本方程 | 第18-24页 |
| ·扩散的基本原理 | 第18-20页 |
| ·非氧化情况下的扩散模型 | 第20-22页 |
| ·氧化表面情况下的扩散模型 | 第22-24页 |
| ·SiO_2的热氧化模型 | 第24-31页 |
| ·一维热氧化模型 | 第24-28页 |
| ·二维热氧化模型 | 第28-31页 |
| ·单晶硅太阳能电池扩散工艺 | 第31-34页 |
| ·液态源磷扩散 | 第31-33页 |
| ·扩散的基本参数 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 扩散工艺与电池特性仿真方案 | 第35-48页 |
| ·磷的扩散仿真模型 | 第35-37页 |
| ·工艺仿真软件Suprem4 | 第37-38页 |
| ·扩散工艺仿真方案 | 第38-41页 |
| ·太阳电池仿真模型 | 第41-45页 |
| ·电池特性仿真软件PC1D | 第45-46页 |
| ·电池特性仿真方案 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 扩散工艺与电池特性仿真 | 第48-70页 |
| ·氧化工艺对p-n结特性的影响 | 第48-51页 |
| ·预扩散工艺对p-n结特性的影响 | 第51-53页 |
| ·再分布工艺对p-n结特性的影响 | 第53-55页 |
| ·电池特性与特征参数间的规律 | 第55-61页 |
| ·仿真优化 | 第61-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第五章 结论 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 攻读学位期间主要的研究成果 | 第78页 |
