太阳能电池TiO2陷光薄膜的制备与特性研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-19页 |
| ·研究背景 | 第8-11页 |
| ·硅太阳能电池陷光薄膜的研究现状 | 第11-12页 |
| ·TiO_2陷光薄膜的研究进展 | 第12-14页 |
| ·TiO_2薄膜常见制备方法 | 第14-16页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第14-15页 |
| ·化学气相沉积法 | 第15页 |
| ·物理气相沉积法 | 第15-16页 |
| ·论文的研究目的、意义及内容 | 第16-19页 |
| ·本论文的研究目的及意义 | 第16-17页 |
| ·本论文的主要研究工作 | 第17-19页 |
| 第二章 陷光薄膜的设计、制备及表征 | 第19-37页 |
| ·硅太阳能电池陷光薄膜的设计 | 第19-24页 |
| ·陷光薄膜的减反射原理 | 第19-20页 |
| ·单层陷光薄膜的反射率计算及评价公式 | 第20-22页 |
| ·双层陷光薄膜的设计 | 第22-24页 |
| ·TiO_2薄膜的制备 | 第24-31页 |
| ·磁控溅射原理及设备 | 第24-26页 |
| ·基片预处理 | 第26-27页 |
| ·薄膜样品的制备流程 | 第27-29页 |
| ·薄膜样品的制备方案 | 第29-30页 |
| ·快速热退火处理 | 第30-31页 |
| ·TiO_2薄膜特性与结构的表征 | 第31-36页 |
| ·厚度 | 第32-33页 |
| ·表面形貌 | 第33-34页 |
| ·显微结构 | 第34-35页 |
| ·透过率 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 TiO_2薄膜制备工艺及微观结构特性研究 | 第37-49页 |
| ·工艺参数对薄膜沉积速率的影响 | 第37-40页 |
| ·氧气流量比对TiO_2薄膜沉积速率的影响 | 第37-38页 |
| ·溅射功率对TiO_2薄膜沉积速率的影响 | 第38-39页 |
| ·溅射气压对TiO_2薄膜沉积速率的影响 | 第39-40页 |
| ·TiO_2薄膜表面形貌研究 | 第40-45页 |
| ·氧气流量比对TiO_2薄膜表面形貌的影响 | 第41-42页 |
| ·溅射功率对TiO_2薄膜表面形貌的影响 | 第42-43页 |
| ·不同退火温度样品的AFM分析 | 第43-45页 |
| ·TiO_2薄膜晶体结构研究 | 第45-48页 |
| ·物相分析 | 第45-47页 |
| ·晶粒大小分析 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 TiO_2陷光薄膜的光学特性 | 第49-65页 |
| ·TiO_2薄膜的透射率 | 第49-53页 |
| ·不同制备工艺TiO_2薄膜透射率研究 | 第50-52页 |
| ·快速退火对TiO_2薄膜透射率的影响 | 第52-53页 |
| ·TiO_2薄膜的光学常数 | 第53-61页 |
| ·TiO_2薄膜的折射率 | 第55-58页 |
| ·TiO_2薄膜的消光系数 | 第58-61页 |
| ·TiO_2薄膜减反射性能分析与讨论 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 第五章 结论 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-74页 |
| 附录 1 AM1.5太阳光光子流密度 | 第74-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 攻读学位期间主要研究成果 | 第78页 |
