| 摘要 | 第1-9页 |
| Abstract | 第9-20页 |
| 第一章 绪论 | 第20-44页 |
| ·微电子机械系统及硅微加工技术 | 第20-24页 |
| ·MEMS技术概述 | 第20-21页 |
| ·基于MEMS的硅微加工技术概述 | 第21-23页 |
| ·MEMS技术研究进展 | 第23-24页 |
| ·硅微结构材料制备 | 第24-32页 |
| ·硅微结构材料的研究历史与发展趋势 | 第24-25页 |
| ·硅微结构材料的形成机理 | 第25-29页 |
| ·几种主要刻蚀技术 | 第29-31页 |
| ·硅微结构材料制备的其它方法 | 第31-32页 |
| ·硅微结构材料的表面修饰改性 | 第32-35页 |
| ·硅微结构材料表面化学修饰改性的目的 | 第32页 |
| ·硅微结构材料的修饰改性方法 | 第32-35页 |
| ·硅微结构材料的应用 | 第35页 |
| ·本文拟展开的研究方案及可行性分析 | 第35-37页 |
| 参考文献 | 第37-44页 |
| 第二章 硅微结构材料-一维光子晶体制备 | 第44-74页 |
| ·一维多孔硅微结构材料-多孔硅光子晶体概述 | 第44-50页 |
| ·光子晶体简介 | 第44-47页 |
| ·光子晶体研究现状 | 第47-48页 |
| ·光子晶体的应用 | 第48-50页 |
| ·基于多孔硅一维光子晶体简介 | 第50页 |
| ·多孔硅一维光子晶体的原理及相关理论基础 | 第50-54页 |
| ·光子晶体的基本原理 | 第50-51页 |
| ·光子晶体的麦克斯韦方程 | 第51-52页 |
| ·光子晶体的理论研究方法 | 第52-53页 |
| ·多孔硅一维光子晶体模型 | 第53-54页 |
| ·多孔硅一维光子晶体的设计 | 第54-57页 |
| ·多孔硅一维光子晶体折射率的计算 | 第54-56页 |
| ·基于MATLAB的多孔硅一维光子晶体设计 | 第56-57页 |
| ·多孔氧化硅一维光子晶体的制备及表征 | 第57-68页 |
| ·多孔硅一维光子晶体的实验设备 | 第57-60页 |
| ·多孔氧化硅一维光子晶体制备工艺参数的处理 | 第60-64页 |
| ·多孔氧化硅一维光子晶体的制备工艺流程 | 第64-66页 |
| ·多孔硅一维光子晶体的实验结果与分析 | 第66-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-74页 |
| 第三章 部分氧化多孔硅一维光子晶体在红外探测器中的应用 | 第74-86页 |
| ·红外热释电探测器概述 | 第74-76页 |
| ·远红外波段多孔硅一维光子晶体阵列的制备 | 第76-79页 |
| ·研究意义 | 第76页 |
| ·远红外波段一维光子晶体的实现 | 第76-78页 |
| ·远红外波段岛状多孔硅一维光子晶体阵列的制备 | 第78-79页 |
| ·远红外波段岛状多孔硅一维光子晶体阵列的表征 | 第79-82页 |
| ·本章小结 | 第82-84页 |
| 参考文献 | 第84-86页 |
| 第四章 二维硅微结构材料-硅微通道的制备、修饰及潜在应用 | 第86-110页 |
| ·硅微通道概述 | 第86-87页 |
| ·硅微通道制备 | 第87-98页 |
| ·实验仪器与设备 | 第87-90页 |
| ·硅片及刻蚀溶液参数 | 第90页 |
| ·制备高深宽比自分离硅微通道材料的具体工艺流程及工艺参数 | 第90-96页 |
| ·高深宽比自分离硅微通道表征 | 第96-98页 |
| ·硅微通道表面及侧壁化学无磷镀镍工艺 | 第98-101页 |
| ·化学无磷镀镍的原理 | 第98页 |
| ·硅微通道的预处理 | 第98页 |
| ·无磷镀镍的工艺方法 | 第98-99页 |
| ·分组实验 | 第99-100页 |
| ·结果与分析 | 第100-101页 |
| ·NiO/Si-MCP超级电容器特性研究 | 第101-105页 |
| ·本章小结 | 第105-107页 |
| 参考文献 | 第107-110页 |
| 第五章 硅微通道在燃料电池中的应用 | 第110-136页 |
| ·燃料电池概述 | 第110-114页 |
| ·燃料电池的发展历史 | 第110-111页 |
| ·燃料电池的分类 | 第111-112页 |
| ·燃料电池的特点及优势 | 第112页 |
| ·直接甲醇燃料电池(DMFC)研究现状 | 第112-114页 |
| ·碱性膜直接甲醇燃料电池概述 | 第114-118页 |
| ·碱性膜直接甲醇燃料电池的工作原理 | 第115-116页 |
| ·甲醇阳极氧化 | 第116-117页 |
| ·氧气阴极还原 | 第117-118页 |
| ·硅微通道表面及侧壁化学修饰镍-钯复合材料的制备及表征 | 第118-119页 |
| ·镍-钯/硅微通道复合材料制备方法 | 第118页 |
| ·镍-钯/硅微通道复合材料表征 | 第118-119页 |
| ·Ni/Si-MCP及Ni-Pd/Si-MCP复合材料催化电极的制备 | 第119-120页 |
| ·制备Ni/Si-MCP复合材料电极 | 第119-120页 |
| ·制备Ni-Pd/Si-MCPMCP复合材料电极 | 第120页 |
| ·Ni/Si-MCP及Ni-Pd/Si-MCP纳米复合材料催化电极应用研究 | 第120-126页 |
| ·实验化学试剂 | 第120页 |
| ·电极的电化学性能测试体系 | 第120-121页 |
| ·Ni/Si-MCP及Ni-Pd/Si-MCP复合材料催化电极对甲醇电催化氧化 | 第121-126页 |
| ·Ni-Pd/Si-MCP纳米复合电极催化氧化甲醇的性能影响因素 | 第126-129页 |
| ·不同KOH的浓度下对比 | 第126-127页 |
| ·不同甲醇浓度变化的对比 | 第127页 |
| ·正向扫描电压窗口的影响 | 第127-128页 |
| ·温度变化的对比 | 第128-129页 |
| ·本章小结 | 第129-130页 |
| 参考文献 | 第130-136页 |
| 第六章 硅微通道化学修饰电极葡萄糖敏感特性研究 | 第136-146页 |
| ·糖类概述 | 第136页 |
| ·葡萄糖生物燃料电池及生物传感器 | 第136-137页 |
| ·Ni/Si-MCP和Ni-Pd/Si-MCP纳米复合电极对葡萄糖的电催化氧化 | 第137-139页 |
| ·Ni/Si-MCP复合材料电极对葡萄糖的敏感性测定 | 第137-138页 |
| ·Ni-Pd/Si-MCP复合材料电极催化氧化葡萄糖的电化学测试 | 第138-139页 |
| ·恒电位计时电流技术检测葡萄糖浓度 | 第139-140页 |
| ·本章小结 | 第140-141页 |
| 参考文献 | 第141-146页 |
| 第七章 结论与展望 | 第146-148页 |
| 附录1 | 第148-154页 |
| 附录2 | 第154-156页 |
| 作者在攻读博士学位期间的主要工作 | 第156-158页 |
| 致谢 | 第158-159页 |
