| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-27页 |
| ·引言 | 第13页 |
| ·飞秒激光技术的发展及其应用 | 第13-18页 |
| ·飞秒激光诱导纳米结构概述 | 第18-23页 |
| ·多光束干涉刻蚀技术概述 | 第23-26页 |
| ·本论文工作内容 | 第26-27页 |
| 第二章 飞秒激光诱导纳米周期结构的物理机制 | 第27-43页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·国内外研究现状 | 第27-28页 |
| ·实验装置 | 第28-31页 |
| ·激光打靶系统 | 第28-29页 |
| ·泵浦-探测系统 | 第29-30页 |
| ·样品介绍 | 第30-31页 |
| ·实验结果讨论 | 第31-37页 |
| ·飞秒激光脉冲诱导短周期纳米条纹 | 第31-36页 |
| ·泵浦-探测实验结果 | 第36-37页 |
| ·理论模拟 | 第37-42页 |
| ·理论模型介绍 | 第37-38页 |
| ·纳米条纹形成过程的理论模拟 | 第38-42页 |
| ·本章总结 | 第42-43页 |
| 第三章 利用飞秒激光双光束干涉制备半导体表面二维周期结构及其应用 | 第43-67页 |
| ·引言 | 第43页 |
| ·双光束干涉实验装置 | 第43-44页 |
| ·双光束干涉制备二维纳米周期结构 | 第44-55页 |
| ·不同夹角下飞秒激光双光束干涉 | 第45-52页 |
| ·不同波长飞秒激光双光束干涉 | 第52-53页 |
| ·二维纳米周期结构的应用 | 第53-55页 |
| ·双光束干涉制备亚微米孔阵列及其吸收增强 | 第55-63页 |
| ·实验结果讨论 | 第55-60页 |
| ·吸收增强的理论模拟 | 第60-63页 |
| ·飞秒激光加工ZnSe产生激射现象 | 第63-66页 |
| ·本章总结 | 第66-67页 |
| 第四章 飞秒激光多光束干涉制备半导体表面纳米复合周期结构及其应用 | 第67-105页 |
| ·引言 | 第67页 |
| ·制备周期结构的方法介绍 | 第67-70页 |
| ·多光束干涉制备周期结构的实验介绍及结果讨论 | 第70-93页 |
| ·三光束干涉制备纳米复合周期结构 | 第70-88页 |
| ·四光束干涉制备纳米复合周期结构 | 第88-93页 |
| ·纳米复合周期结构形成的理论计算 | 第93-99页 |
| ·纳米复合周期结构的应用 | 第99-104页 |
| ·本章总结 | 第104-105页 |
| 第五章 总结与展望 | 第105-107页 |
| ·研究成果总结及创新点 | 第105页 |
| ·进一步开展的工作 | 第105-107页 |
| 附录 | 第107-111页 |
| 参考文献 | 第111-117页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第117-118页 |
| 致谢 | 第118-119页 |