模板电解加工群孔基础研究及应用
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-18页 |
| 第一章 绪论 | 第18-31页 |
| ·电解加工的定义和特点 | 第18-19页 |
| ·微小群孔结构加工的特点、应用及方法 | 第19-26页 |
| ·微小群孔结构特点及应用 | 第19-20页 |
| ·微小群孔结构的加工方法、现状及其特点 | 第20-26页 |
| ·机械加工技术 | 第20-21页 |
| ·激光加工技术 | 第21页 |
| ·LIGA 技术及LIGA-like 技术 | 第21-22页 |
| ·电火花加工技术 | 第22-23页 |
| ·电液束加工技术 | 第23-24页 |
| ·管电极电解加工技术 | 第24-25页 |
| ·掩模电解加工技术 | 第25页 |
| ·微细电解加工技术 | 第25-26页 |
| ·模板电解加工技术 | 第26-29页 |
| ·本文主要研究内容 | 第29-31页 |
| 第二章 模板电解加工方式及加工系统 | 第31-51页 |
| ·模板电解加工技术 | 第31-34页 |
| ·有导电层式模板电解加工技术 | 第31-32页 |
| ·双阴极式模板电解加工技术 | 第32-33页 |
| ·阳极屏蔽式模板电解加工技术 | 第33-34页 |
| ·模板设计与制作 | 第34-41页 |
| ·基于紫外光刻的有导电层式模板的制作 | 第34-39页 |
| ·工艺流程 | 第34-36页 |
| ·掩模板 | 第36页 |
| ·金属基底的处理 | 第36页 |
| ·涂胶 | 第36-37页 |
| ·前烘 | 第37页 |
| ·曝光 | 第37页 |
| ·显影 | 第37-38页 |
| ·漂洗和干燥 | 第38页 |
| ·后处理 | 第38-39页 |
| ·激光加工制作模板 | 第39-40页 |
| ·微细数控钻铣制作模板 | 第40-41页 |
| ·模板电解加工试验系统 | 第41-48页 |
| ·模板电解加工机床 | 第41-42页 |
| ·模板电解加工夹具设计 | 第42-45页 |
| ·侧流式模板电解加工夹具的设计 | 第43-44页 |
| ·正流式模板电解加工夹具的设计 | 第44-45页 |
| ·模板电解加工电源与斩波器 | 第45-47页 |
| ·模板电解加工电解液循环系统 | 第47-48页 |
| ·模板电解加工技术的影响因素 | 第48-49页 |
| ·影响加工稳定性的因素分析 | 第48-49页 |
| ·加工工艺影响因素 | 第49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 第三章 模板电解加工过程分析及试验研究 | 第51-75页 |
| ·有导电层式模板电解加工电场特性 | 第51-59页 |
| ·电场模型 | 第51-52页 |
| ·电解液非线性特性影响加工过程的机理分析 | 第52-55页 |
| ·阳极溶解数学模型 | 第55页 |
| ·基于APDL 的过程模拟 | 第55-57页 |
| ·模拟结果与实际加工形貌对比分析 | 第57-59页 |
| ·双阴极式模板电解加工电场特性 | 第59-62页 |
| ·电场模型和阳极溶解数学模型 | 第59-60页 |
| ·模拟结果与实际加工形貌对比分析 | 第60-62页 |
| ·阳极屏蔽式模板电解加工电场特性 | 第62-65页 |
| ·电场模型和阳极溶解数学模型 | 第62-63页 |
| ·模拟结果与实际加工形貌对比分析 | 第63-65页 |
| ·三种加工方式加工精度对比研究 | 第65-70页 |
| ·电流密度分布规律 | 第65-66页 |
| ·模板电解加工精度研究 | 第66-70页 |
| ·模板电解加工孔精度评价方法 | 第66-67页 |
| ·加工精度 | 第67-70页 |
| ·双阴极式模板电解加工基础试验研究 | 第70-73页 |
| ·模板上小孔直径对孔锥度的影响 | 第70-71页 |
| ·导电层厚度对孔锥度的影响 | 第71页 |
| ·绝缘层厚度对孔锥度的影响 | 第71-72页 |
| ·孔间距对孔锥度的影响 | 第72页 |
| ·电压对孔锥度的影响 | 第72-73页 |
| ·微细结构制作 | 第73页 |
| ·本章小结 | 第73-75页 |
| 第四章 模板电解加工流场设计与仿真 | 第75-102页 |
| ·模板电解加工电解液流动方式 | 第75-76页 |
| ·模板传统正流式电解加工 | 第76-80页 |
| ·物理模型 | 第76-77页 |
| ·数学模型及边界条件 | 第77-78页 |
| ·计算结果与分析 | 第78-80页 |
| ·分流正流式模板电解加工 | 第80-84页 |
| ·物理模型 | 第80-81页 |
| ·计算结果与分析 | 第81-83页 |
| ·分流正流式模板电解加工试验安排 | 第83页 |
| ·试验结果 | 第83-84页 |
| ·模板电解加工群孔侧向流动形式 | 第84-97页 |
| ·被动式侧向流动方式 | 第84-87页 |
| ·主动分流侧流式电解加工夹具内凸起设计 | 第87-88页 |
| ·主动分流侧流式流动特性理论 | 第88-97页 |
| ·流速的确定 | 第88-89页 |
| ·电解液进口压力的确定 | 第89-90页 |
| ·主动分流侧流式流动模型 | 第90页 |
| ·数学方程及边界条件 | 第90-91页 |
| ·计算结果与分析 | 第91-96页 |
| ·6 试验结果及分析 | 第96-97页 |
| ·大面积密集型群孔模板电解加工技术 | 第97-101页 |
| ·蛇形流道式分块模板电解加工技术 | 第97-98页 |
| ·分块式模板的设计 | 第98-99页 |
| ·数值计算结果及分析 | 第99-100页 |
| ·参数修正及试验结果 | 第100-101页 |
| ·本章小结 | 第101-102页 |
| 第五章 辅助阳极及小孔开口角对加工精度的影响 | 第102-117页 |
| ·模板电解加工精度分析 | 第102-103页 |
| ·辅助阳极式模板电解加工特性 | 第103-108页 |
| ·物理模型 | 第103页 |
| ·电场模型和阳极溶解模型 | 第103-104页 |
| ·过程分析 | 第104-106页 |
| ·试验结果与讨论 | 第106-108页 |
| ·模板上小孔开口角对加工精度的影响 | 第108-115页 |
| ·物理模型 | 第108-109页 |
| ·电场模型和阳极溶解模型 | 第109-110页 |
| ·过程分析 | 第110-113页 |
| ·流场物理模型 | 第113-114页 |
| ·计算结果与分析 | 第114-115页 |
| ·群孔的一致性 | 第115-116页 |
| ·本章小结 | 第116-117页 |
| 第六章 模板电解加工技术在前、后冷气导管中的应用 | 第117-126页 |
| ·前、后冷气导管 | 第117-118页 |
| ·前、后冷气导管模板电解加工流程 | 第118-124页 |
| ·模板制作 | 第118-119页 |
| ·工装夹具 | 第119-120页 |
| ·加工参数 | 第120-121页 |
| ·电解液温度、流速以及压力的确定 | 第120-121页 |
| ·加工电压的确定 | 第121页 |
| ·试验结果与讨论 | 第121-122页 |
| ·切边和成形 | 第122-123页 |
| ·试验过程现象和问题分析 | 第123-124页 |
| ·试验正常加工 | 第123-124页 |
| ·试验故障分析 | 第124页 |
| ·本章小结 | 第124-126页 |
| 第七章 总结与展望 | 第126-128页 |
| ·论文研究工作总结 | 第126-127页 |
| ·对未来工作的展望 | 第127-128页 |
| 参考文献 | 第128-138页 |
| 致谢 | 第138-140页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文及发明专利 | 第140页 |
