| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第11-26页 |
| 1.1 研究背景 | 第11-12页 |
| 1.2 光纤传感器简介 | 第12-19页 |
| 1.3 基于微流控芯片的光纤流速传感器的研究现状 | 第19-22页 |
| 1.4 光纤液体液位传感器的研究现状 | 第22-24页 |
| 1.5 本文的主要内容及创新点 | 第24-26页 |
| 1.5.1 论文的主要内容 | 第24-25页 |
| 1.5.2 论文的创新点 | 第25-26页 |
| 2 光纤F-P干涉原理及空芯布拉格光纤的传感原理分析 | 第26-34页 |
| 2.1 引言 | 第26页 |
| 2.2 光纤F-P干涉仪的传感原理 | 第26-28页 |
| 2.3 空芯布拉格光纤的传感原理 | 第28-33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 3 基于微流控芯片的光纤气体流速传感器 | 第34-46页 |
| 3.1 引言 | 第34-35页 |
| 3.2 微流控芯片制作与传感器封装 | 第35-41页 |
| 3.2.1 SU-8阳模的制作 | 第36-39页 |
| 3.2.2 模塑法制作PDMS微流控芯片 | 第39-40页 |
| 3.2.3 传感器的制作与封装 | 第40-41页 |
| 3.3 流速传感实验及分析 | 第41-45页 |
| 3.3.1 传感系统的光谱响应 | 第41-43页 |
| 3.3.2 传感系统的光强响应与响应时间 | 第43-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 4 基于空芯布拉格光纤的液位传感器 | 第46-69页 |
| 4.1 引言 | 第46页 |
| 4.2 有限元法仿真的原理及仿真结果 | 第46-54页 |
| 4.2.1 有限元法介绍 | 第46-50页 |
| 4.2.2 空芯布拉格光纤的实验仿真过程和结果分析 | 第50-54页 |
| 4.3 空芯布拉格光纤的制作及光谱特性 | 第54-59页 |
| 4.3.1 空芯布拉格光纤的制作流程 | 第54-55页 |
| 4.3.2 空芯布拉格光纤的光谱特性 | 第55-59页 |
| 4.4 液位传感实验及分析 | 第59-68页 |
| 4.4.1 传感器的光谱响应 | 第59-64页 |
| 4.4.2 传感器的光强响应与响应时间 | 第64-66页 |
| 4.4.3 传感器的温度响应 | 第66-68页 |
| 4.5 本章小结 | 第68-69页 |
| 5 总结和展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-77页 |
| 作者简介 | 第77页 |
| 作者攻读硕士期问的科研成果 | 第77页 |