YBCO-BST异质结的制备及性能研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 前言 | 第8-20页 |
| 1.1 绪论 | 第8页 |
| 1.2 钛酸锶钡薄膜简介 | 第8-12页 |
| 1.2.1 钛酸锶钡薄膜晶体结构 | 第8-9页 |
| 1.2.2 钛酸锶钡薄膜介电性能 | 第9-11页 |
| 1.2.3 微波调谐器件 | 第11-12页 |
| 1.3 钇钡铜氧薄膜简介 | 第12-14页 |
| 1.3.1 超导材料的发展 | 第12-13页 |
| 1.3.2 钇钡铜氧薄膜的晶体结构 | 第13-14页 |
| 1.4 YBCO/STO异质结 | 第14-15页 |
| 1.5 国内外研究现状 | 第15页 |
| 1.6 薄膜的制备方法 | 第15-17页 |
| 1.7 研究目的及意义 | 第17-20页 |
| 2 实验仪器与实验方法 | 第20-26页 |
| 2.1 实验原料与试剂 | 第20-21页 |
| 2.1.1 配制BST溶胶所用试剂 | 第20页 |
| 2.1.2 配制YBCO溶胶所用试剂 | 第20-21页 |
| 2.2 薄膜制备设备 | 第21-23页 |
| 2.2.1 溶胶配制设备 | 第21页 |
| 2.2.2 薄膜制备设备 | 第21-22页 |
| 2.2.3 热处理设备 | 第22-23页 |
| 2.2.4 其他常规设备 | 第23页 |
| 2.3 分析仪器 | 第23页 |
| 2.4 实验方案 | 第23-26页 |
| 3 BST/YBCO多层薄膜的制备 | 第26-42页 |
| 3.1 BST薄膜的制备 | 第26-30页 |
| 3.1.1 BST溶胶的配制 | 第26-29页 |
| 3.1.2 BST薄膜的制备 | 第29-30页 |
| 3.2 YBCO薄膜的制备 | 第30-35页 |
| 3.2.1 YBCO溶胶的配制 | 第30-31页 |
| 3.2.2 YBCO薄膜的制备 | 第31-35页 |
| 3.3 BST/YBCO多层薄膜的制备 | 第35-40页 |
| 3.3.1 BST薄膜热处理工艺 | 第35-36页 |
| 3.3.2 双层薄膜结构及性能 | 第36-40页 |
| 3.4 小结 | 第40-42页 |
| 4 BST介电性能研究 | 第42-52页 |
| 4.1 Pt为底电极BST薄膜介电性能 | 第42-44页 |
| 4.2 LNO为底电极BST薄膜介电性能 | 第44-47页 |
| 4.3 YBCO为底电极BST薄膜介电性能 | 第47-49页 |
| 4.4 不同底电极BST薄膜介电性能比较 | 第49-50页 |
| 4.5 小结 | 第50-52页 |
| 5 结论 | 第52-54页 |
| 致谢 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-58页 |
