| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 前言 | 第8-20页 |
| 1.1 绪论 | 第8页 |
| 1.2 钙钛矿型复合氧化物的结构 | 第8-11页 |
| 1.2.1 巨磁阻材料La_(1-x)Sr_xMnO_3的发展及研究现状 | 第9-10页 |
| 1.2.2 Pb_(1-x)La_x(Zr_y,Ti_(1-y))O_3的发展及研究现状 | 第10-11页 |
| 1.3 薄膜的制备方法 | 第11-15页 |
| 1.3.1 磁控溅射法 | 第11-12页 |
| 1.3.2 脉冲激光沉积法 | 第12页 |
| 1.3.3 溶胶-凝胶法 | 第12-15页 |
| 1.4 多铁性复合薄膜中磁电效应的研究进展 | 第15-17页 |
| 1.4.1 0-3颗粒复合薄膜 | 第15-16页 |
| 1.4.2 1-3柱状复合薄膜 | 第16页 |
| 1.4.3 2-2叠层复合薄膜 | 第16-17页 |
| 1.5 感光溶胶-凝胶法制备微细图形的研究进展 | 第17页 |
| 1.6 实验目的意义及主要内容 | 第17-20页 |
| 2 实验方案与仪器设备 | 第20-26页 |
| 2.1 实验方案 | 第20页 |
| 2.2 化学试剂与薄膜制备设备 | 第20-23页 |
| 2.2.1 实验所用主要化学试剂 | 第20-21页 |
| 2.2.2 薄膜制备设备 | 第21-23页 |
| 2.3 薄膜的测试仪器 | 第23-26页 |
| 3 PLZT/LSMO复合薄膜的制备及性能研究 | 第26-38页 |
| 3.1 PLZT/LSMO/Si薄膜的制备及性能研究 | 第26-31页 |
| 3.1.1 PLZT/LSMO/Si薄膜的制备及表征 | 第26-30页 |
| 3.1.2 PLZT/LSMO/Si复合薄膜的性能研究 | 第30-31页 |
| 3.2 LAO/LSMO/PLZT外延薄膜的制备及性能研究 | 第31-36页 |
| 3.2.1 LSMO/LAO薄膜的制备 | 第32页 |
| 3.2.2 PLZT/LSMO/LAO复合薄膜的制备 | 第32-34页 |
| 3.2.3 PLZT/LSMO/LAO复合薄膜性能研究 | 第34-36页 |
| 3.3 小结 | 第36-38页 |
| 4 微细图形化的PLZT/LSMO复合薄膜的制备及性能研究 | 第38-54页 |
| 4.1 LSMO微细图形的制备 | 第38-47页 |
| 4.1.1 LSMO感光溶胶的制备 | 第39-43页 |
| 4.1.2 LSMO微细图形的制备 | 第43-47页 |
| 4.2 微细图形化的PLZT/LSMO/LAO复合薄膜的制备及表征 | 第47-50页 |
| 4.3 微细图形化的LAO/LSMO/PLZT复合薄膜的性能研究 | 第50-52页 |
| 4.4 小结 | 第52-54页 |
| 5 结论 | 第54-56页 |
| 致谢 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 攻读硕士学位期间撰写和发表的论文 | 第62页 |
