| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第13-21页 |
| 1.1 课题来源及课题研究的背景意义 | 第13-15页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第13页 |
| 1.1.2 课题研究背景和意义 | 第13-15页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第15-19页 |
| 1.2.1 气体静压主轴国内外研究现状 | 第15-17页 |
| 1.2.2 主轴回转误差测量技术国内外研究现状 | 第17-19页 |
| 1.3 本课题主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 气体静压主轴系统设计 | 第21-32页 |
| 2.1 气体静压主轴总体设计概述 | 第21-23页 |
| 2.2 气体静压轴承结构的设计 | 第23-26页 |
| 2.2.1 气体静压轴承的工作原理 | 第23-24页 |
| 2.2.2 径向轴承结构的设计 | 第24-25页 |
| 2.2.3 止推轴承结构的设计 | 第25-26页 |
| 2.3 气体静压主轴控制系统的设计 | 第26-31页 |
| 2.3.1 IMAC运动控制器 | 第27-28页 |
| 2.3.2 主轴驱动方式 | 第28-29页 |
| 2.3.3 KollmorgenS700伺服驱动器 | 第29-30页 |
| 2.3.4 主轴反馈系统的设计 | 第30-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 气体静压主轴回转误差研究 | 第32-53页 |
| 3.1 主轴回转误差的信号分类 | 第32-33页 |
| 3.2 回转误差谐波仿真分析 | 第33-37页 |
| 3.2.1 谐波分量求解 | 第33-34页 |
| 3.2.2 谐波分量仿真分析 | 第34-37页 |
| 3.3 同步误差与异步误差仿真分析 | 第37-38页 |
| 3.4 主轴回转误差测量方法简介 | 第38-39页 |
| 3.4.1 单向测量法 | 第38-39页 |
| 3.4.2 双向测量法 | 第39页 |
| 3.4.3 CCD测量法 | 第39页 |
| 3.5 主轴回转误差分离方法仿真分析 | 第39-46页 |
| 3.5.1 反向法 | 第40-42页 |
| 3.5.2 多步法 | 第42-43页 |
| 3.5.3 三点法 | 第43-46页 |
| 3.6 两点反向法仿真分析 | 第46-51页 |
| 3.7 本文误差分离方法的选择 | 第51-52页 |
| 3.8 本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 气体静压主轴回转误差测量实验 | 第53-69页 |
| 4.1 实验测量硬件系统的介绍 | 第53-56页 |
| 4.1.1 测量系统的构成 | 第53页 |
| 4.1.2 测量系统硬件的选型 | 第53-56页 |
| 4.2 实验测量系统操作流程 | 第56-57页 |
| 4.3 回转误差测量及比较分析 | 第57-68页 |
| 4.3.1 两点反向法测量实验 | 第57-61页 |
| 4.3.2 雄狮(Lion)主轴回转误差分析仪测量实验 | 第61-65页 |
| 4.3.3 两种测量结果的比较分析 | 第65-68页 |
| 4.4 本章小结 | 第68-69页 |
| 第五章 主轴回转误差来源的分析与实验校正 | 第69-80页 |
| 5.1 主轴动不平衡的影响 | 第69-73页 |
| 5.1.1 主轴动不平衡理论分析 | 第69页 |
| 5.1.2 主轴动不平衡校正实验 | 第69-73页 |
| 5.2 标准球安装偏差的影响 | 第73-76页 |
| 5.2.1 安装偏差理论分析 | 第73-74页 |
| 5.2.2 安装偏心实验校正 | 第74-76页 |
| 5.3 传感器安装偏差的影响 | 第76-79页 |
| 5.3.1 安装偏差理论分析 | 第76-77页 |
| 5.3.2 安装偏差实验校正 | 第77-79页 |
| 5.4 本章小结 | 第79-80页 |
| 总结与展望 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-87页 |
| 攻读硕士学位期间发表的成果 | 第87-89页 |
| 致谢 | 第89-90页 |
| 附录1 | 第90-93页 |