| 摘要 | 第4-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第13-19页 |
| 1.1 气敏传感器 | 第13-15页 |
| 1.1.1 气敏传感器概述 | 第13-14页 |
| 1.1.2 气敏传感器的分类及其特点 | 第14-15页 |
| 1.1.3 气敏传感器元件的制作和性能测试 | 第15页 |
| 1.2 金属氧化物半导体材料及其简介 | 第15-17页 |
| 1.2.1 金属氧化物半导体材料概述 | 第15-16页 |
| 1.2.2 金属氧化物半导体材料的制备方法 | 第16-17页 |
| 1.2.3 Fe_2O_3气敏材料概述及制备方法 | 第17页 |
| 1.2.4 ZnO气敏材料概述及制备方法 | 第17页 |
| 1.3 本论文研究的意义和主要工作 | 第17-19页 |
| 第2章 海胆状SnO_2-Fe_2O_3复合金属氧化物的制备及其传感器研究 | 第19-28页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 海胆状SnO_2-Fe_2O_3复合金属氧化物的制备 | 第19-23页 |
| 2.2.1 实验药品 | 第19页 |
| 2.2.2 海胆状SnO_2-Fe_2O_3复合金属氧化物的制备 | 第19-20页 |
| 2.2.3 海胆状SnO_2-Fe_2O_3复合金属氧化物的形貌结构表征 | 第20-23页 |
| 2.3 海胆状SnO_2-Fe_2O_3基气敏传感器研究 | 第23-26页 |
| 2.3.1 海胆状SnO_2-Fe_2O_3基气敏传感器的温度特性研究 | 第23-24页 |
| 2.3.2 海胆状SnO_2-Fe_2O_3基气敏传感器的响应恢复特性研究 | 第24-25页 |
| 2.3.3 海胆状SnO_2-Fe_2O_3基气敏传感器的浓度特性研究 | 第25-26页 |
| 2.3.4 海胆状SnO_2-Fe_2O_3基气敏传感器的选择特性研究 | 第26页 |
| 2.4 海胆状SnO_2-Fe_2O_3复合金属氧化物的气敏机理分析 | 第26-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 不同形貌的Fe_2O_3制备及其传感器研究 | 第28-40页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 不同形貌的Fe_2O_3的制备 | 第28-33页 |
| 3.2.1 实验药品 | 第28页 |
| 3.2.2 不同形貌的Fe_2O_3的制备 | 第28-29页 |
| 3.2.3 不同形貌的Fe_2O_3的形貌结构表征 | 第29-33页 |
| 3.3 基于不同形貌Fe_2O_3气敏传感器研究 | 第33-38页 |
| 3.3.1 基于不同形貌Fe_2O_3气敏传感器的温度特性研究 | 第33-34页 |
| 3.3.2 基于不同形貌Fe_2O_3气敏传感器的响应恢复特性研究 | 第34-35页 |
| 3.3.3 基于不同形貌Fe_2O_3气敏传感器的浓度特性研究 | 第35-36页 |
| 3.3.4 基于不同形貌Fe_2O_3气敏传感器的选择特性研究 | 第36-37页 |
| 3.3.5 基于不同形貌Fe_2O_3气敏传感器的稳定特性研究 | 第37-38页 |
| 3.4 不同形貌的Fe_2O_3的气敏机理分析 | 第38-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 第4章 In_2O_3-ZnO复合微米管的制备及其传感器研究 | 第40-50页 |
| 4.1 引言 | 第40页 |
| 4.2 In_2O_3-ZnO复合微米管的制备 | 第40-44页 |
| 4.2.1 实验药品 | 第40页 |
| 4.2.2 In_2O_3-ZnO复合微米管的制备 | 第40-41页 |
| 4.2.3 In_2O_3-ZnO复合微米管的形貌结构表征 | 第41-44页 |
| 4.3 基于In_2O_3-ZnO复合微米管的气敏传感器研究 | 第44-47页 |
| 4.3.1 基于In_2O_3-ZnO复合微米管的气敏传感器的温度特性研究 | 第44-45页 |
| 4.3.2 基于In_2O_3-ZnO复合微米管的气敏传感器的浓度特性研究 | 第45-46页 |
| 4.3.3 基于In_2O_3-ZnO复合微米管的气敏传感器的响应恢复特性研究 | 第46-47页 |
| 4.3.4 基于In_2O_3-ZnO复合微米管的气敏传感器的选择特性研究 | 第47页 |
| 4.4 In_2O_3-ZnO复合微米管的气敏机理分析 | 第47-48页 |
| 4.5 本章小结 | 第48-50页 |
| 第5章 结论与展望 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-59页 |
| 作者简介 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
