基于红外技术的薄膜厚度在线测量系统研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-14页 |
| 1.1 课题来源 | 第10页 |
| 1.2 课题背景 | 第10-11页 |
| 1.3 世界发展现状 | 第11-12页 |
| 1.3.1 国外发展现状 | 第11-12页 |
| 1.3.2 国内发展现状 | 第12页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第12-14页 |
| 第2章 红外测厚的原理研究 | 第14-20页 |
| 2.1 红外光谱分析 | 第14-16页 |
| 2.1.1 实验材料 | 第14页 |
| 2.1.2 红外光光谱 | 第14-16页 |
| 2.2 红外光测厚研究 | 第16-19页 |
| 2.2.1 红外反射测量方式 | 第17页 |
| 2.2.2 红外光透射测量方式 | 第17-18页 |
| 2.2.3 提高测厚精度的研究 | 第18-19页 |
| 2.3 本章小结 | 第19-20页 |
| 第3章 在线测量系统方案设计 | 第20-27页 |
| 3.1 薄膜测厚系统总体设计原理 | 第20-21页 |
| 3.2 信号检测部分方案设计 | 第21-23页 |
| 3.3 薄膜测厚系统硬件总体方案设计 | 第23-25页 |
| 3.4 薄膜测厚系统整体实现 | 第25-26页 |
| 3.5 本章小结 | 第26-27页 |
| 第4章 在线测量系统硬件设计与实现 | 第27-56页 |
| 4.1 模拟信号电路设计 | 第27-50页 |
| 4.1.1 电源模块设计 | 第27-29页 |
| 4.1.2 红外光光源的选型 | 第29-30页 |
| 4.1.3 红外光发生电路模块设计 | 第30-33页 |
| 4.1.4 红外光驱动电路设计 | 第33-35页 |
| 4.1.5 红外光探测器选型 | 第35-37页 |
| 4.1.6 传感器制冷模块设计 | 第37-39页 |
| 4.1.7 稳压电路驱动模块设计 | 第39-40页 |
| 4.1.8 前置信号处理模块设计 | 第40-42页 |
| 4.1.9 模拟信号处理模块设计 | 第42-50页 |
| 4.2 AD模块部分设计 | 第50-52页 |
| 4.3 人机交互硬件设计 | 第52页 |
| 4.4 DSP主控模块硬件设计 | 第52-55页 |
| 4.4.1 电源模块设计 | 第52-54页 |
| 4.4.2 时钟模块 | 第54页 |
| 4.4.3 复位模块 | 第54页 |
| 4.4.4 程序仿真下载模块 | 第54-55页 |
| 4.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章 在线测量系统软件设计与实现 | 第56-66页 |
| 5.1 DSP软件开发平台简介 | 第56页 |
| 5.2 薄膜测厚系统主程序设计 | 第56-65页 |
| 5.2.1 芯片初始化模块 | 第57-58页 |
| 5.2.2 AD转换模块 | 第58-59页 |
| 5.2.3 触摸屏交互 | 第59-61页 |
| 5.2.4 数字滤波器 | 第61-65页 |
| 5.3 本章总结 | 第65-66页 |
| 结论 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
