| 摘要 | 第10-12页 |
| ABSTRACT | 第12-13页 |
| 第一章 绪论 | 第14-26页 |
| 1.1 有机薄膜晶体管概述 | 第14-18页 |
| 1.1.1 有机薄膜晶体管基本结构 | 第14-15页 |
| 1.1.2 有机薄膜晶体管工作原理 | 第15-16页 |
| 1.1.3 有机薄膜晶体管基本参数 | 第16-18页 |
| 1.2 有机薄膜晶体管的研究进展 | 第18-24页 |
| 1.2.1 半导体材料的选择及制备 | 第18-19页 |
| 1.2.2 栅介质层材料的选择及制备 | 第19-23页 |
| 1.2.3 自组装单分子层修饰无机栅介质层 | 第23-24页 |
| 1.3 课题的提出 | 第24-25页 |
| 1.4 课题研究内容 | 第25-26页 |
| 第二章 实验过程及方法 | 第26-36页 |
| 2.1 实验材料 | 第26-27页 |
| 2.2 实验仪器设备 | 第27页 |
| 2.3 有机/无机双栅介质层OTFTs的制备 | 第27-29页 |
| 2.4 SAMs修饰有机/无机双栅介质层OTFTs器件的制备 | 第29-30页 |
| 2.5 非晶复合氧化物栅介质层OTFTs的制备 | 第30-33页 |
| 2.5.1 Zr_(1-x)Ti_xO_y薄膜的制备 | 第31-33页 |
| 2.5.2 ZrTiO_x栅介质层晶体管的制备 | 第33页 |
| 2.6 薄膜的微观形貌表征 | 第33-34页 |
| 2.6.1 扫描电子显微镜 | 第33页 |
| 2.6.2 X射线衍射 | 第33页 |
| 2.6.3 原子力显微镜 | 第33-34页 |
| 2.7 栅介质薄膜物理性能测试 | 第34页 |
| 2.7.1 漏电流测试 | 第34页 |
| 2.7.2 介电性能测试 | 第34页 |
| 2.7.3 接触角测试 | 第34页 |
| 2.8 薄膜晶体管电学性能测试 | 第34-36页 |
| 第三章 有机/无机双栅介质层的制备及OTFTs性能 | 第36-46页 |
| 3.1 PMMA/SiO_2双栅介质层的制备及OTFTs性能研究 | 第36-40页 |
| 3.1.1 PMMA层的制备工艺与膜厚的关系 | 第36-37页 |
| 3.1.2 PMMA层表面形貌分析 | 第37页 |
| 3.1.3 PMMA/SiO_2表面并五苯薄膜形貌分析 | 第37-38页 |
| 3.1.4 PMMA/SiO_2双栅介质层OTFTs性能研究 | 第38-40页 |
| 3.2 PS/SiO_2双栅介质层的制备及OTFTs性能研究 | 第40-45页 |
| 3.2.1 PS薄膜表面形貌分析 | 第41页 |
| 3.2.2 并五苯半导体层形貌分析 | 第41-42页 |
| 3.2.3 PS/SiO_2双栅介质层OTFTs性能研究 | 第42-45页 |
| 3.3 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 自组装单层修饰SiO_2栅介质层的制备及OTFTs性能 | 第46-54页 |
| 4.1 不同自组装单层修饰SiO_2及OTFTs器件性能 | 第46-48页 |
| 4.1.1 SAMs/SiO_2表面并五苯薄膜形貌分析 | 第46-47页 |
| 4.1.2 不同SAMs修饰OTFTs的电学性能 | 第47-48页 |
| 4.2 SAMs修饰PS/SiO_2双栅介质层OTFTs的制备及性能研究 | 第48-53页 |
| 4.2.1 栅介质层表面性能分析 | 第48-49页 |
| 4.2.2 并五苯表面形貌分析 | 第49-50页 |
| 4.2.3 OTFTs器件电学性能分析 | 第50-53页 |
| 4.3 本章小结 | 第53-54页 |
| 第五章 非晶复合氧化物栅介质层的制备及在OTFTs中的应用 | 第54-68页 |
| 5.1 不同钛含量Zr_(1-x)Ti_xO_y薄膜的制备及性能研究 | 第54-55页 |
| 5.1.1 Zr_(1-x)Ti_xO_y薄膜的相组成及结晶情况分析 | 第54-55页 |
| 5.1.2 钛含量与Zr_(1-x)Ti_xO_y薄膜介电性能的关系 | 第55页 |
| 5.2 ZrTiO_x复合氧化物薄膜的制备及性能研究 | 第55-60页 |
| 5.2.1 ZrTiO_x薄膜的相组成及结晶情况分析 | 第55-58页 |
| 5.2.2 复合氧化物薄膜的微观形貌分析 | 第58-59页 |
| 5.2.3 复合氧化物薄膜介电性能分析 | 第59-60页 |
| 5.3 非晶ZrTiO_x栅介质层在OTFTs中的应用 | 第60-66页 |
| 5.3.1 ZrTiO_x栅介质层表面粗糙度分析 | 第60-61页 |
| 5.3.2 不同退火温度下ZrTiO_x栅介质层的电学性能 | 第61-63页 |
| 5.3.3 ZrTiO_x栅介质层在OTFTs中的应用 | 第63-66页 |
| 5.4 本章小结 | 第66-68页 |
| 第六章 结论与展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-82页 |
| 致谢 | 第82-84页 |
| 附录：攻读硕士期间发表的论文及专利 | 第84-85页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第85页 |
