电容式气体传感器及外围基准电流源电路设计
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-17页 |
| ·引言 | 第11页 |
| ·课题研究的发展概况 | 第11-14页 |
| ·气体传感器发展概况 | 第11-13页 |
| ·基准电流源发展概况 | 第13-14页 |
| ·本文研究的目的和意义 | 第14-15页 |
| ·本论文的主要工作和论文安排 | 第15-17页 |
| 第2章 课题研究的理论基础 | 第17-31页 |
| ·气体传感器 | 第17-24页 |
| ·气体传感器特性指标 | 第17-18页 |
| ·气体传感器分类 | 第18-20页 |
| ·SO_2气体传感器 | 第20-21页 |
| ·MEMS气体传感器 | 第21-24页 |
| ·基准电流源 | 第24-30页 |
| ·基准电流源特性指标 | 第24-25页 |
| ·基准电流源分类 | 第25-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 基于MEMS技术的电容式气体传感器设计 | 第31-41页 |
| ·电容式气体传感器敏感机理 | 第31-33页 |
| ·电容式SO_2气体传感器设计思路 | 第33-34页 |
| ·三维敏感电容式气体传感器结构设计 | 第34-39页 |
| ·传统一维敏感单元响应特性分析 | 第37页 |
| ·新型圆柱体敏感单元响应特性分析 | 第37-38页 |
| ·两种模型单元性能分析比较 | 第38-39页 |
| ·电容式气体传感器响应时间仿真分析 | 第39-40页 |
| ·仿真软件介绍 | 第39页 |
| ·仿真结果分析 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 外围基准电流源总体设计 | 第41-50页 |
| ·基准电流源设计思路 | 第41页 |
| ·基准电流源电路设计 | 第41-49页 |
| ·启动和偏置电路设计 | 第42-43页 |
| ·PTAT电流产生电路设计 | 第43-46页 |
| ·CTAT电流产生电路设计 | 第46-47页 |
| ·电流求和电路分析 | 第47页 |
| ·二阶补偿电流产生电路设计 | 第47-49页 |
| ·总体电路设计与实现 | 第49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第5章 基准电流源电路仿真分析 | 第50-58页 |
| ·仿真软件与工艺介绍 | 第50页 |
| ·基准电流源仿真分析 | 第50-56页 |
| ·基准电流源DC特性分析 | 第51-53页 |
| ·基准电流源AC特性分析 | 第53-54页 |
| ·基准电流源时序特性分析 | 第54-56页 |
| ·与其它基准电流源比较分析 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 结论与展望 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第64-65页 |
