AlN基MEMS风速风向集成传感器的设计
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外风速风向传感器发展现状 | 第11-13页 |
| 1.3 课题主要研究内容 | 第13-15页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第13-14页 |
| 1.3.2 课题主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 传感器设计机理及仿真 | 第15-27页 |
| 2.1 风速传感器机理分析 | 第15-19页 |
| 2.1.1 热量传递方式分析 | 第15-18页 |
| 2.1.2 边界层理论分析 | 第18页 |
| 2.1.3 工作机理分析 | 第18-19页 |
| 2.2 结构设计与原理分析 | 第19-21页 |
| 2.2.1 传感器结构设计 | 第19-20页 |
| 2.2.2 原理分析 | 第20-21页 |
| 2.3 传感器温度分布ANSYS仿真 | 第21-26页 |
| 2.3.1 无风情况下传感器表面温度分布仿真 | 第22-23页 |
| 2.3.2 风速情况下传感器温度分布CFX仿真 | 第23-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 传感器制作技术研究 | 第27-36页 |
| 3.1 材料选取 | 第27-28页 |
| 3.2 传感器工艺过程 | 第28-35页 |
| 3.2.1 基片清洗 | 第29-30页 |
| 3.2.2 版图成型 | 第30-32页 |
| 3.2.3 薄膜制备 | 第32页 |
| 3.2.4 高温热处理 | 第32-33页 |
| 3.2.5 激光刻槽 | 第33-34页 |
| 3.2.6 焊接和封装 | 第34-35页 |
| 3.3 本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 信号采集及性能分析 | 第36-46页 |
| 4.1 传感器电路设计 | 第36-42页 |
| 4.1.1 信号转换电路 | 第36-39页 |
| 4.1.2 信号处理电路及显示 | 第39-40页 |
| 4.1.3 系统软件设计 | 第40-42页 |
| 4.2 性能测试 | 第42-45页 |
| 4.2.1 风速风向的测试 | 第42-44页 |
| 4.2.2 实验结果分析 | 第44-45页 |
| 4.3 本章小结 | 第45-46页 |
| 结论 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-51页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52页 |
