| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 研究背景与选题来源 | 第11-12页 |
| 1.1.1 研究背景与意义 | 第11-12页 |
| 1.1.2 选题来源 | 第12页 |
| 1.2 微定位平台国内外研究现状 | 第12-16页 |
| 1.2.1 微位移驱动器 | 第12-13页 |
| 1.2.2 导轨支撑机构 | 第13-15页 |
| 1.2.3 微定位平台国内外研究现状 | 第15-16页 |
| 1.3 压电陶瓷驱动微定位平台控制方法研究现状 | 第16-21页 |
| 1.3.1 迟滞非线性建模方法研究现状 | 第16-19页 |
| 1.3.2 迟滞非线性控制方法研究现状 | 第19-21页 |
| 1.4 本文内容安排 | 第21-23页 |
| 第2章 压电陶瓷驱动微定位平台迟滞非线性建模与辨识 | 第23-37页 |
| 2.1 基于KP模型的压电陶瓷驱动微定位平台迟滞非线性建模 | 第23-25页 |
| 2.2 KP模型密度参数粒子群算法辨识 | 第25-30页 |
| 2.2.1 粒子群算法原理及流程 | 第25-27页 |
| 2.2.2 粒子群算法辨识结果与分析 | 第27-30页 |
| 2.3 KP模型密度参数自适应混沌粒子群算法辨识 | 第30-35页 |
| 2.3.1 自适应混沌粒子群算法原理及流程 | 第30-33页 |
| 2.3.2 自适应混沌粒子群算法辨识结果与分析 | 第33-35页 |
| 2.4 本章小结 | 第35-37页 |
| 第3章 压电陶瓷驱动微定位平台模糊控制 | 第37-53页 |
| 3.1 模糊控制理论概述 | 第37页 |
| 3.2 模糊控制器设计 | 第37-44页 |
| 3.2.1 模糊控制器结构及控制原理 | 第37-38页 |
| 3.2.2 模糊控制器算法设计 | 第38-41页 |
| 3.2.3 模糊控制仿真与分析 | 第41-44页 |
| 3.3 变论域模糊控制器设计 | 第44-50页 |
| 3.3.1 变论域模糊控制原理 | 第44-47页 |
| 3.3.2 变论域模糊控制仿真与分析 | 第47-50页 |
| 3.4 本章小结 | 第50-53页 |
| 第4章 压电陶瓷驱动微定位平台自适应模糊H_∞控制 | 第53-67页 |
| 4.1 模糊逻辑系统的万能逼近原理 | 第53-54页 |
| 4.2 问题的提出 | 第54-57页 |
| 4.2.1 迟滞非线性分解 | 第54-55页 |
| 4.2.2 控制目标 | 第55-57页 |
| 4.3 自适应模糊H_∞控制 | 第57-62页 |
| 4.3.1 模糊H_∞控制器设计 | 第57-58页 |
| 4.3.2 模糊自适应算法 | 第58-60页 |
| 4.3.3 稳定性与收敛性分析 | 第60-62页 |
| 4.4 仿真研究与分析 | 第62-66页 |
| 4.5 本章小结 | 第66-67页 |
| 第5章 全文总结 | 第67-69页 |
| 5.1 全文总结 | 第67-68页 |
| 5.2 下一步工作重点 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-75页 |
| 作者简介 | 第75-77页 |
| 致谢 | 第77页 |
