| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第13-23页 |
| 1.1 课题来源 | 第13页 |
| 1.2 研究背景和意义 | 第13-15页 |
| 1.2.1 微/光电子的发展现状 | 第13-14页 |
| 1.2.2 微/光电子设备研究意义 | 第14-15页 |
| 1.3 国内外研究现状及分析 | 第15-21页 |
| 1.3.1 系统建模与参数识别 | 第15-16页 |
| 1.3.2 运动规划 | 第16-21页 |
| 1.4 研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 运动控制系统的建立 | 第23-39页 |
| 2.1 运动控制系统的分类 | 第24-30页 |
| 2.1.1 运动控制方案的选择 | 第24-26页 |
| 2.1.2 运动控制卡的选择 | 第26-28页 |
| 2.1.3 驱动器和电机的选择 | 第28-30页 |
| 2.2 上位机控制软件 | 第30-34页 |
| 2.2.1 虚拟仪器 | 第30-31页 |
| 2.2.2 LabVIEW语言 | 第31-32页 |
| 2.2.3 LabVIEW程序开发步骤 | 第32-34页 |
| 2.3 硬件的连接 | 第34-36页 |
| 2.3.1 伺服驱动器与电机的连接 | 第34-35页 |
| 2.3.2 伺服驱动器与UMI-7774的连接 | 第35-36页 |
| 2.4 电机控制界面编写 | 第36-38页 |
| 2.5 本章小结 | 第38-39页 |
| 第三章 动力学响应分析和模型等效 | 第39-47页 |
| 3.1 直线运动平台动力学仿真分析 | 第39-41页 |
| 3.2 直线电机运动平台模态分析 | 第41-43页 |
| 3.3 直线电机运动平台的模型等效 | 第43-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 直线运动平台等效模型参数获取 | 第47-60页 |
| 4.1 振动模态分析 | 第47-50页 |
| 4.1.1 振动问题来源 | 第47-48页 |
| 4.1.2 振动模态分析的基本方法 | 第48-50页 |
| 4.2 动态测试系统 | 第50-52页 |
| 4.2.1 激光测振仪Polytec PSV-400 | 第50-51页 |
| 4.2.2 测试系统的组成 | 第51-52页 |
| 4.3 基于单自由度法的模型参数识别 | 第52-56页 |
| 4.3.1 单自由度振动系统 | 第53-55页 |
| 4.3.2 指数衰减法求解模型参数 | 第55-56页 |
| 4.4 模型参数获取实验 | 第56-59页 |
| 4.5 本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 直线运动平台运动参数优化 | 第60-82页 |
| 5.1 运动参数优化方法的基本路线 | 第60-61页 |
| 5.2 优化参数的选择 | 第61-65页 |
| 5.2.1 梯形运动参数的选择 | 第61-63页 |
| 5.2.2 S型速度曲线运动参数的选择 | 第63-65页 |
| 5.3 参数优化算法 | 第65-72页 |
| 5.3.1 负梯度优化算法 | 第66-69页 |
| 5.3.2 S型速度曲线运动参数的优化 | 第69-72页 |
| 5.4 优化实例 | 第72-81页 |
| 5.4.1 仿真优化 | 第72-75页 |
| 5.4.2 运行验证 | 第75-81页 |
| 5.5 本章小结 | 第81-82页 |
| 总结与展望 | 第82-84页 |
| 总结 | 第82-83页 |
| 展望 | 第83-84页 |
| 参考文献 | 第84-89页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文 | 第89-92页 |
| 致谢 | 第92页 |