| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第8页 |
| 1.2 光刻机技术发展历史及现状 | 第8-13页 |
| 1.2.1 光刻机整机发展现状 | 第8-11页 |
| 1.2.2 光刻机工件台和掩模台同步控制系统 | 第11-13页 |
| 1.3 论文的主要研究内容 | 第13-14页 |
| 第2章 同步控制系统及同步控制总线 | 第14-28页 |
| 2.1 引言 | 第14页 |
| 2.2 步进扫描光刻机曝光过程 | 第14-15页 |
| 2.3 步进扫描光刻机的控制系统 | 第15-16页 |
| 2.4 步进扫描光刻机同步系统的划分 | 第16-18页 |
| 2.5 同步控制器的主要功能及工作过程 | 第18-21页 |
| 2.5.1 控制系统的工作过程 | 第18-20页 |
| 2.5.2 同步控制器的主要功能 | 第20-21页 |
| 2.6 VME 总线和同步控制总线 | 第21-27页 |
| 2.6.1 VME 总线简介 | 第21-23页 |
| 2.6.2 自定义同步控制总线及同步控制系统间的信息传输 | 第23-27页 |
| 2.7 本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 同步控制卡硬件设计 | 第28-41页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 同步控制卡结构规划 | 第28-30页 |
| 3.3 同步控制卡主卡硬件设计 | 第30-36页 |
| 3.3.1 电源模块 | 第30-31页 |
| 3.3.2 运算单元 | 第31-32页 |
| 3.3.3 逻辑单元 | 第32-34页 |
| 3.3.4 电平转换单元 | 第34-35页 |
| 3.3.5 接口单元 | 第35-36页 |
| 3.3.6 配置和调试单元 | 第36页 |
| 3.4 同步控制卡副卡硬件设计 | 第36-39页 |
| 3.4.1 主副卡接口单元 | 第37页 |
| 3.4.2 数模转换单元 | 第37-39页 |
| 3.5 同步控制卡信号完整性 | 第39-40页 |
| 3.6 本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 同步控制算法设计及仿真 | 第41-52页 |
| 4.1 引言 | 第41页 |
| 4.2 同步控制策略 | 第41-43页 |
| 4.2.1 非耦合式同步控制 | 第41-42页 |
| 4.2.2 耦合式同步控制 | 第42-43页 |
| 4.3 基于主从策略的同步控制器设计 | 第43-50页 |
| 4.3.1 重复控制思想 | 第44页 |
| 4.3.2 重复控制器设计 | 第44-48页 |
| 4.3.3 仿真分析 | 第48-50页 |
| 4.4 同步误差分析 | 第50-51页 |
| 4.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 同步控制卡软件编写及调试 | 第52-62页 |
| 5.1 引言 | 第52页 |
| 5.2 同步控制卡与下位机通信实现与测试 | 第52-60页 |
| 5.2.1 单字节读写及速率测试 | 第52-57页 |
| 5.2.2 块传输度数据测试 | 第57-59页 |
| 5.2.3 中断响应模块 | 第59-60页 |
| 5.3 同步控制总线接口 | 第60-61页 |
| 5.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 结论 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69页 |