| 摘要 | 第10-12页 |
| Abstract | 第12-14页 |
| 1 绪论 | 第15-27页 |
| 1.1 课题研究的目的及意义 | 第15-16页 |
| 1.2 农业机械关键触土部件磨损及防护的研究现状 | 第16-19页 |
| 1.2.1 农业机械关键触土部件的磨损 | 第16-17页 |
| 1.2.2 农业机械关键触土部件的耐磨损防护 | 第17-19页 |
| 1.3 PTFE的摩擦与磨损特性 | 第19-20页 |
| 1.4 填料或纤维增强PTFE复合材料及其磨损特性 | 第20-23页 |
| 1.5 PTFE的溅射与共溅射 | 第23-24页 |
| 1.6 本文的研究内容及方法 | 第24-26页 |
| 1.6.1 本文的研究内容 | 第24-25页 |
| 1.6.2 本文的研究路线 | 第25-26页 |
| 1.7 本章小结 | 第26-27页 |
| 2 试验设计及表征分析方法 | 第27-39页 |
| 2.1 复合涂层的设计 | 第27-30页 |
| 2.1.1 复合涂层的功能设计要求及思路 | 第27-28页 |
| 2.1.2 复合涂层的制备手段设计 | 第28-29页 |
| 2.1.3 PTFE靶材的设计与制备 | 第29-30页 |
| 2.2 TiN_x/CF_y复合涂层的试验制备流程 | 第30-31页 |
| 2.2.1 沉积复合涂层设备 | 第30页 |
| 2.2.2 复合涂层制备过程 | 第30-31页 |
| 2.3 等离子状态监测的质谱法 | 第31-33页 |
| 2.4 TiN_x/CF_y涂层分析测试与表征方法 | 第33-38页 |
| 2.4.1 复合涂层的形貌测试方法 | 第34页 |
| 2.4.2 复合涂层组织成分及结构表征方法 | 第34-35页 |
| 2.4.3 涂层厚度的测量 | 第35页 |
| 2.4.4 涂层密度测量的光纤光谱法 | 第35页 |
| 2.4.5 硬度及耐磨损实验 | 第35-37页 |
| 2.4.6 耐腐蚀性能测量 | 第37-38页 |
| 2.5 本章小结 | 第38-39页 |
| 3 涂层沉积过程中等离子状态的检测 | 第39-59页 |
| 3.1 单独溅射Ti靶材的等离子状态的检测 | 第39-43页 |
| 3.1.1 等离子放电状态中的离子检测 | 第39-41页 |
| 3.1.2 等离子放电状态中的的中性粒子及自由基检测 | 第41-43页 |
| 3.2 反应溅射制备TiN_x涂层等离子状态的检测 | 第43-51页 |
| 3.2.1 磁控反应溅射制备TiN_x涂层的滞后效应 | 第43-44页 |
| 3.2.2 制备TiN_x涂层的等离子放电状态中的离子检测 | 第44-48页 |
| 3.2.3 制备TiN_x涂层等离子放电状态中的中性粒子及自由基检测 | 第48-51页 |
| 3.3 单独溅射PTFE靶材等离子状态的检测 | 第51-58页 |
| 3.3.1 等离子放电状态中的离子检测 | 第51-56页 |
| 3.3.2 等离子放电状态中的自由基及中性粒子检测 | 第56-58页 |
| 3.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 4 磁控共溅射制备TiN_x/CF_y涂层的参数研究 | 第59-75页 |
| 4.1 磁控共溅射沉积设备的溅射模式 | 第59-64页 |
| 4.1.1 磁控溅射沉积设备的轴向均匀性 | 第59-61页 |
| 4.1.2 磁控溅射沉积设备的宽度方向均匀性 | 第61-63页 |
| 4.1.3 磁控溅射沉积设备的基靶间距及w向特性 | 第63-64页 |
| 4.2 制备复合涂层的工艺参数研究 | 第64-74页 |
| 4.2.1 靶材输入功率的影响研究 | 第65-69页 |
| 4.2.2 工作气压的影响 | 第69页 |
| 4.2.3 N2分压的影响 | 第69-71页 |
| 4.2.4 旋转速率的影响 | 第71-72页 |
| 4.2.5 沉积时间的影响 | 第72-73页 |
| 4.2.6 偏压的影响 | 第73-74页 |
| 4.3 本章小结 | 第74-75页 |
| 5 TiNx/CF_y复合涂层的成分、结构及形貌研究 | 第75-96页 |
| 5.1 TiN_x/CF_y复合涂层的成分及结构研究 | 第75-81页 |
| 5.1.1 复合涂层成分的XPS分析 | 第75-80页 |
| 5.1.2 复合涂层的化学键结构研究 | 第80-81页 |
| 5.2 TiN_x/CF_y复合涂层的的形貌研究 | 第81-84页 |
| 5.2.1 TiN_x/CF_y涂层的TEM形貌 | 第82页 |
| 5.2.2 TiN_x/CF_y涂层的表面形态 | 第82-84页 |
| 5.3 旋转速率对涂层结构的影响 | 第84-86页 |
| 5.4 制备时间对复合涂层成分的影响研究 | 第86-92页 |
| 5.4.1 不同制备时间对涂层成分的影响 | 第86-88页 |
| 5.4.2 复合涂层的深度XPS刻蚀研究 | 第88-92页 |
| 5.5 TiN_x/CF_y复合涂层的结构模型 | 第92-94页 |
| 5.5.1 磁控共溅射过程中的质谱检测 | 第92页 |
| 5.5.2 TiN_x/CF_y涂层的结构模型 | 第92-94页 |
| 5.6 本章小结 | 第94-96页 |
| 6 磁控共溅射TiN_x/CF_y涂层的耐磨与耐腐蚀性能研究 | 第96-108页 |
| 6.1 TiN_x/CF_y复合涂层的体积因子 | 第96-97页 |
| 6.1.1 TiN_x/CF_y复合涂层的体积因子计算公式 | 第96-97页 |
| 6.1.2 TiN_x/CF_y复合涂层的体积因子计算 | 第97页 |
| 6.2 磁控共溅射TiN_x/CF_y涂层的耐磨损性能 | 第97-105页 |
| 6.2.1 TiN_x/CF_y复合涂层的耐磨损性能的纳米压痕测试 | 第97-103页 |
| 6.2.2 TiN_x/CF_y复合涂层的耐磨损性能的销盘式磨损仪测试 | 第103-105页 |
| 6.3 磁控共溅射TiN_x/CF_y涂层的耐腐蚀性能 | 第105-107页 |
| 6.4 本章小结 | 第107-108页 |
| 7 结论与展望 | 第108-110页 |
| 7.1 结论 | 第108-109页 |
| 7.2 创新点 | 第109页 |
| 7.3 展望 | 第109-110页 |
| 致谢 | 第110-111页 |
| 参考文献 | 第111-119页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第119页 |
