感应耦合等离子体非线性效应的流体模拟研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
1 绪论	第9-15页
·等离子体刻蚀概况和发展趋势	第9-10页
·感应耦合等离子体源的装置特性和应用	第10-11页
·非线性效应的研究进展及存在的问题	第11-14页
·谐波效应的研究现状	第11-12页
·模式转化的研究现状	第12-14页
·非线性效应研究存在的问题	第14页
·本文的研究内容和安排	第14-15页
2 感应耦合等离子体谐波效应的模拟研究	第15-33页
·引言	第15-16页
·电磁模型	第16-17页
·流体模型	第17-19页
·流体力学方程的数值算法	第19-20页
·数值结果与讨论	第20-31页
·各次电流谐波在有无洛伦兹力项时结果比较	第21-23页
·不同频率各次电流谐波大小比较	第23-25页
·不同频率电势谐波比较	第25-27页
·不同频率等离子体参数	第27-31页
·小结	第31-33页
3 感应耦合Ar等离子体模式转化的流体力学模拟	第33-44页
·引言	第33页
·数值计算方法	第33-34页
·数值结果与讨论	第34-43页
·小结	第43-44页
结论	第44-46页
参考文献	第46-50页
附录A 电子动量方程的二阶微扰展开	第50-52页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第52-53页
致谢	第53-54页