| 中文摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第12-23页 |
| 1.1 引言 | 第12页 |
| 1.2 气体传感器 | 第12-14页 |
| 1.3 MHP式气体传感器 | 第14-18页 |
| 1.3.1 MHP简介 | 第14-15页 |
| 1.3.2 MHP式气体传感器的研究意义 | 第15页 |
| 1.3.3 MHP式气体传感器的研究进展 | 第15-18页 |
| 1.4 金属氧化物半导体气敏材料概述 | 第18-20页 |
| 1.4.1 金属氧化物半导体气敏材料研究现状 | 第18-19页 |
| 1.4.2 α-Fe_2O_3基气敏材料的研究 | 第19-20页 |
| 1.5 碳纳米管在气体传感器中的应用 | 第20-21页 |
| 1.6 本论文主要的研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 悬臂梁式微加热板的设计与制作 | 第23-38页 |
| 2.1 ANSYS有限元分析介绍 | 第23页 |
| 2.2 悬臂梁式MHP的结构设计 | 第23-26页 |
| 2.2.1 衬底材料的选择 | 第24页 |
| 2.2.2 支撑层材料的选择 | 第24-25页 |
| 2.2.3 电极的材料选择 | 第25-26页 |
| 2.2.4 绝缘层材料的选择 | 第26页 |
| 2.3 MHP的仿真及优化 | 第26-34页 |
| 2.3.1 ANSYS稳态热分析实例 | 第27-30页 |
| 2.3.2 加热电极的形状对MHP功耗的影响 | 第30-32页 |
| 2.3.3 MHP背部硅层对功耗的影响 | 第32-33页 |
| 2.3.4 MHP的热应力分析 | 第33-34页 |
| 2.3.5 小结 | 第34页 |
| 2.4 悬臂梁式MHP的制作及测试 | 第34-37页 |
| 2.4.1 MHP的MEMS工艺流程 | 第35页 |
| 2.4.2 MHP的性能测试 | 第35-37页 |
| 2.5 本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 CNT@α-Fe_2O_3复合材料的制备与表征 | 第38-54页 |
| 3.1 纳米材料的制备方法 | 第38-39页 |
| 3.2 实验药品及设备 | 第39-40页 |
| 3.2.1 实验药品 | 第39-40页 |
| 3.2.2 实验设备 | 第40页 |
| 3.3 MWCNT的预处理及表征 | 第40-43页 |
| 3.3.1 MWCNT的预处理方法 | 第40-41页 |
| 3.3.2 MWCNT的预处理 | 第41页 |
| 3.3.3 预处理MWCNT的表征及讨论 | 第41-43页 |
| 3.4 CNT@α-Fe_2O_3复合材料的制备及表征 | 第43-53页 |
| 3.4.1 CNT@α-Fe_2O_3复合材料的制备 | 第43-44页 |
| 3.4.2 CNT@α-Fe_2O_3复合材料的表征 | 第44-53页 |
| 3.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 基于CNT@α-Fe_2O_3复合材料气体传感器的气敏特性测试 | 第54-70页 |
| 4.1 气体传感器的制作 | 第54-55页 |
| 4.2 气体传感器的测试 | 第55-57页 |
| 4.2.1 体传感器的测试系统 | 第55-56页 |
| 4.2.2 气敏器件性能参数 | 第56-57页 |
| 4.3 气体传感器的性能测试结果与分析 | 第57-66页 |
| 4.3.1 气敏特性测试结果 | 第57-63页 |
| 4.3.2 CNT@α-Fe_2O_3复合结构增感机理的研究 | 第63-66页 |
| 4.4 微热板式气体传感的制作及气敏特性 | 第66-68页 |
| 4.4.1 微热板式气体传感的制作 | 第66-67页 |
| 4.4.2 微热板式气体传感气敏特性测试 | 第67-68页 |
| 4.5 本章小结 | 第68-70页 |
| 第五章 结论 | 第70-72页 |
| 附录 | 第72-75页 |
| 1. ANSYS稳态热分析 | 第72-73页 |
| 2. ANSYS热应力分析 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-84页 |
| 作者简介及科研成果 | 第84-85页 |
| 致谢 | 第85页 |
