步进—闪光式纳米压印模板之力学分析
摘要 | 第4-5页 |
ABSTRACT | 第5-6页 |
第1章 绪论 | 第9-18页 |
1.1 课题来源及研究的目的和意义 | 第9-12页 |
1.1.1 课题来源 | 第9页 |
1.1.2 课题目的和意义 | 第9-12页 |
1.2 国内外在该方向的研究现状及问题分析 | 第12-16页 |
1.3 本文研究目标 | 第16-18页 |
第2章 刚性模板模型分析 | 第18-35页 |
2.1 引言 | 第18页 |
2.2 控制方程推导 | 第18-27页 |
2.3 建立模型 | 第27-28页 |
2.4 仿真结果 | 第28-29页 |
2.5 结论分析 | 第29-34页 |
2.5.1 压印胶黏度分析 | 第30-31页 |
2.5.2 压印速度分析 | 第31-34页 |
2.6 本章小结 | 第34-35页 |
第3章 柔性模板模型分析 | 第35-50页 |
3.1 引言 | 第35-36页 |
3.2 控制方程推导 | 第36-38页 |
3.3 建立模型 | 第38页 |
3.4 仿真计算 | 第38-40页 |
3.5 结论分析 | 第40-49页 |
3.5.1 柔性板压印分析 | 第40-45页 |
3.5.2 压印胶黏度分析 | 第45-47页 |
3.5.3 模板弹性模量分析 | 第47-48页 |
3.5.4 不同厚度模板分析 | 第48-49页 |
3.6 本章小结 | 第49-50页 |
第4章 多液滴模型分析 | 第50-66页 |
4.1 引言 | 第50-52页 |
4.2 控制方程推导 | 第52-60页 |
4.2.1 独立压印 | 第52-54页 |
4.2.2 聚结压印 | 第54-60页 |
4.3 数值检验 | 第60-62页 |
4.4 仿真计算 | 第62-64页 |
4.5 本章小结 | 第64-66页 |
结论 | 第66-68页 |
参考文献 | 第68-73页 |
致谢 | 第73页 |