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步进—闪光式纳米压印模板之力学分析

摘要第4-5页
ABSTRACT第5-6页
第1章 绪论第9-18页
    1.1 课题来源及研究的目的和意义第9-12页
        1.1.1 课题来源第9页
        1.1.2 课题目的和意义第9-12页
    1.2 国内外在该方向的研究现状及问题分析第12-16页
    1.3 本文研究目标第16-18页
第2章 刚性模板模型分析第18-35页
    2.1 引言第18页
    2.2 控制方程推导第18-27页
    2.3 建立模型第27-28页
    2.4 仿真结果第28-29页
    2.5 结论分析第29-34页
        2.5.1 压印胶黏度分析第30-31页
        2.5.2 压印速度分析第31-34页
    2.6 本章小结第34-35页
第3章 柔性模板模型分析第35-50页
    3.1 引言第35-36页
    3.2 控制方程推导第36-38页
    3.3 建立模型第38页
    3.4 仿真计算第38-40页
    3.5 结论分析第40-49页
        3.5.1 柔性板压印分析第40-45页
        3.5.2 压印胶黏度分析第45-47页
        3.5.3 模板弹性模量分析第47-48页
        3.5.4 不同厚度模板分析第48-49页
    3.6 本章小结第49-50页
第4章 多液滴模型分析第50-66页
    4.1 引言第50-52页
    4.2 控制方程推导第52-60页
        4.2.1 独立压印第52-54页
        4.2.2 聚结压印第54-60页
    4.3 数值检验第60-62页
    4.4 仿真计算第62-64页
    4.5 本章小结第64-66页
结论第66-68页
参考文献第68-73页
致谢第73页

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