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化学浴沉积ZnSe薄膜性能的研究

摘要第3-4页
Abstract第4-5页
英文缩写简表第9-10页
第1章 绪论第10-16页
    1.1 研究背景第10-11页
    1.2 国内外研究现状第11-14页
        1.2.1 反应物组成第11-12页
        1.2.2 反应物浓度第12页
        1.2.3 反应溶液p H值第12-13页
        1.2.4 水浴温度第13页
        1.2.5 沉积时间第13页
        1.2.6 退火第13-14页
        1.2.7 其他参数第14页
    1.3 研究内容第14-15页
    1.4 本章小结第15-16页
第2章 CBD法的化学平衡研究第16-28页
    2.1 CBD基本原理第17-19页
    2.2 CBD湿化学过程中的平衡分析第19-24页
        2.2.1 络合平衡第19-22页
        2.2.2 Zn(OH)2沉淀的生成条件理论探讨第22-24页
    2.3 硒脲的电离平衡第24-25页
    2.4 缓冲层材料的沉淀平衡第25页
    2.5 CBD湿化学过程反应速率影响因素分析第25-27页
        2.5.1 浓度对反应速率的影响第25-26页
        2.5.2 温度对反应速率的影响第26-27页
    2.6 小结第27-28页
第3章 实验原理与方法第28-33页
    3.1 实验原料与设备第28-29页
        3.1.1 主要设备第28页
        3.1.2 主要原料第28-29页
    3.2 退火处理第29页
        3.2.1 光热退火的基本原理第29页
        3.2.2 薄膜退火处理第29页
    3.3 性能表征第29-30页
    3.4 薄膜制备第30-31页
        3.4.1 准备衬底第30页
        3.4.2 制备薄膜第30-31页
    3.5 研究方案第31-33页
第4章 Zn Se薄膜材料的结构和光学特性第33-44页
    4.1 CBD法制备Zn Se薄膜的结构特性第33-34页
        4.1.1 SEM分析第33-34页
        4.1.2 XRD分析第34页
    4.2 膜厚对薄膜光学性能的影响第34-39页
        4.2.1 薄膜的透射光谱和反射光谱第35页
        4.2.2 吸收系数第35-37页
        4.2.3 消光系数和折射率第37-38页
        4.2.4 光学带隙第38-39页
    4.3 锌源初始浓度对薄膜性能的影响第39-41页
        4.3.1 XRD分析第39页
        4.3.2 SEM分析第39-40页
        4.3.3 透射光谱分析第40-41页
    4.4 CBD沉积温度对薄膜性能的影响第41-42页
        4.4.1 XRD分析第41-42页
        4.4.2 SEM分析第42页
    4.5 小结第42-44页
第5章 退火气氛对CBD法沉积硒化锌薄膜性能的影响第44-56页
    5.1 空气气氛下退火对薄膜性能的影响第44-49页
        5.1.1 XRD分析第44-46页
        5.1.2 SEM分析第46-47页
        5.1.3 XPS分析第47-49页
    5.2 氮气气氛下退火对薄膜性能的影响第49-52页
        5.2.1 XRD分析第49-50页
        5.2.2 SEM分析第50-51页
        5.2.3 XPS分析第51-52页
    5.3 氮气气氛和空气气氛退火对薄膜性能影响的比较分析第52-55页
        5.3.1 XRD分析第52-53页
        5.3.2 SEM分析第53-54页
        5.3.3 XPS分析第54-55页
    5.4 小结第55-56页
第6章 结论第56-58页
    6.1 主要研究成果第56页
    6.2 创新性第56-57页
    6.3 进一步研究方向第57-58页
参考文献第58-63页
致谢第63-64页
攻读硕士期间发表的论文第64页

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