| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 综述 | 第9-23页 |
| 1.1 论文的研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 直线度测量方法研究现状 | 第10-17页 |
| 1.2.1 非激光类直线度测量方法 | 第10-12页 |
| 1.2.2 激光类直线度测量方法 | 第12-17页 |
| 1.3 激光漂移检测及补偿方法研究现状 | 第17-21页 |
| 1.4 论文的研究内容及组织结构 | 第21-23页 |
| 第二章 长行程精密导轨直线度测量系统设计与理论分析 | 第23-38页 |
| 2.1 本章概述 | 第23页 |
| 2.2 系统方案设计 | 第23-24页 |
| 2.3 激光外差直线度及位移测量原理 | 第24-26页 |
| 2.4 激光光束漂移检测 | 第26-30页 |
| 2.4.1 分析模型的坐标定义 | 第27页 |
| 2.4.2 建模分析 | 第27-29页 |
| 2.4.3 位置敏感探测器光斑位置分析 | 第29-30页 |
| 2.5 偏摆角与俯仰角检测及补偿 | 第30-32页 |
| 2.6 长行程导轨直线度及其位置补偿方法研究 | 第32-37页 |
| 2.6.1 旋转前后光束的变化关系 | 第33-35页 |
| 2.6.2 旋转后测量镜外部光程分析 | 第35-36页 |
| 2.6.3 直线度及其位移的补偿表达式 | 第36-37页 |
| 2.7 本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 信号处理方法 | 第38-47页 |
| 3.1 本章概述 | 第38页 |
| 3.2 系统信号处理总体方案设计 | 第38-39页 |
| 3.3 激光外差干涉信号处理方法 | 第39-42页 |
| 3.3.1 信号预处理模块 | 第39-40页 |
| 3.3.2 基于FPGA的信号处理模块 | 第40-42页 |
| 3.4 激光光束漂移检测信号处理 | 第42-44页 |
| 3.5 系统软件设计 | 第44-46页 |
| 3.6 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 实验与误差分析 | 第47-70页 |
| 4.1 本章概述 | 第47页 |
| 4.2 系统实验装置搭建 | 第47-48页 |
| 4.3 静态稳定性实验 | 第48-50页 |
| 4.4 角度比对实验 | 第50-55页 |
| 4.4.1 偏摆角检测及比对实验 | 第50-53页 |
| 4.4.2 俯仰角检测及比对实验 | 第53-55页 |
| 4.5 直线度及位移补偿实验 | 第55-63页 |
| 4.5.1 直线度补偿实验 | 第56-60页 |
| 4.5.2 位移补偿实验 | 第60-63页 |
| 4.6 系统测量误差分析 | 第63-68页 |
| 4.7 本章小结 | 第68-70页 |
| 第五章 总结与展望 | 第70-73页 |
| 5.1 总结 | 第70-71页 |
| 5.2 主要创新点 | 第71-72页 |
| 5.3 展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第79页 |