ZnO单晶micro-PL及其在声表面波器件的仿真研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| ·课题研究背景 | 第8-17页 |
| ·ZnO单晶材料的发展 | 第8-9页 |
| ·SAW器件的发展历程 | 第9-10页 |
| ·SAW传感器的应用 | 第10-17页 |
| ·研究的意义和内容 | 第17-18页 |
| 第二章 ZnO单晶的性质及生长 | 第18-22页 |
| ·晶体结构 | 第18-20页 |
| ·ZnO单晶的生长 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第三章 ZnO单晶的微区光致发光特性研究 | 第22-33页 |
| ·ZnO单晶光致发光特性的研究进展 | 第22-23页 |
| ·ZnO单晶的光学性质 | 第23页 |
| ·实验条件 | 第23页 |
| ·ZnO单晶的XRD图谱 | 第23-25页 |
| ·ZnO单晶的Raman光谱 | 第25-27页 |
| ·Raman散射过程 | 第25页 |
| ·ZnO单晶中Raman散射配置 | 第25-27页 |
| ·ZnO单晶的PL光谱 | 第27-29页 |
| ·表面抛光处理后的ZnO单晶的AFM照片 | 第29-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第四章 声表面波器件的应用原理及模拟仿真 | 第33-50页 |
| ·SAW器件的基本原理 | 第33-35页 |
| ·压电衬底材料 | 第35-36页 |
| ·有限元仿真 | 第36-37页 |
| ·ZnO单晶声表面波器件三维结构模型的建立 | 第37-40页 |
| ·建立三维模型结构 | 第37-38页 |
| ·结构区域设置及选择材料 | 第38-39页 |
| ·设置边界条件 | 第39页 |
| ·划分网格 | 第39-40页 |
| · | 第40-44页 |
| ·正特征频率 | 第40页 |
| ·反特征频率 | 第40-42页 |
| ·总位移与频率间的关系 | 第42-43页 |
| ·声表面波器件的阻抗特性分析 | 第43-44页 |
| ·器件性能影响因素 | 第44-49页 |
| ·叉指电极高度对声表面波器件的影响 | 第44-45页 |
| ·叉指电极对数对声表面波器件的影响 | 第45-48页 |
| ·叉指电极的宽度对声表面波器件的影响 | 第48页 |
| ·单晶材料对声表面波器件的影响 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 总结与展望 | 第50-51页 |
| ·论文总结 | 第50页 |
| ·展望 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-55页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第55-56页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57页 |
