薄膜材料鼓包装置的研制及力学性能表征
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-26页 |
| ·薄膜材料概述及其特性 | 第11-12页 |
| ·薄膜材料的定义 | 第11-12页 |
| ·薄膜材料的特性 | 第12页 |
| ·薄膜材料的力学性能 | 第12-13页 |
| ·薄膜材料力学性能的测试和表征方法 | 第13-18页 |
| ·单轴拉伸法 | 第13-15页 |
| ·纳米压痕法 | 第15-16页 |
| ·鼓包法 | 第16-17页 |
| ·垂直拉伸法 | 第17-18页 |
| ·剥离法 | 第18页 |
| ·薄膜材料力学性能表征装置 | 第18-23页 |
| ·鼓包法实验装置 | 第19-20页 |
| ·单轴拉伸实验装置 | 第20-22页 |
| ·纳米压痕法实验装置 | 第22-23页 |
| ·本文的选题依据和研究内容 | 第23-26页 |
| ·本文的选题依据 | 第23-24页 |
| ·本文主要内容 | 第24-26页 |
| 第2章 鼓包法表征薄膜力学性能研究进展 | 第26-48页 |
| ·引言 | 第26页 |
| ·鼓包法表征薄膜力学性能理论模型研究进展 | 第26-35页 |
| ·薄膜的弹性模量测量模型 | 第26-34页 |
| ·鼓包法表征界面结合能模型 | 第34-35页 |
| ·鼓包法表征薄膜力学性能样品制备方法进展 | 第35-39页 |
| ·鼓包法表征薄膜力学性能装置研制进展 | 第39-44页 |
| ·鼓包测试装置评述 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 第3章 鼓包法薄膜全场位移的数字散斑相关法测量 | 第48-65页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·数字散斑相关法测量全场位移原理 | 第48-53页 |
| ·数字散斑相关法测量面内位移 | 第49-52页 |
| ·数字散斑相关法测量离面位移 | 第52-53页 |
| ·远心光路设计 | 第53-55页 |
| ·数字散斑相关法软件测试 | 第55-63页 |
| ·计算机模拟验证 | 第56-63页 |
| ·实际测试验证 | 第63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 第4章 鼓包法表征薄膜材料力学性能装置的研制 | 第65-80页 |
| ·引言 | 第65页 |
| ·薄膜力学性能鼓包测试装置概述 | 第65-67页 |
| ·压力加载与测量部分 | 第67-72页 |
| ·压力加载与测量部分设计前的探索性尝试 | 第67-69页 |
| ·测试装置压力加载与测量部分组成 | 第69-72页 |
| ·薄膜变形测量部分 | 第72-75页 |
| ·系统软件 | 第75-78页 |
| ·本章小结 | 第78-80页 |
| 第5章 金属薄膜材料小挠度下基本力学参量的表征 | 第80-89页 |
| ·引言 | 第80页 |
| ·鼓包样品的制备 | 第80页 |
| ·金属镍膜弹性模量的鼓包法表征 | 第80-84页 |
| ·鼓包实验过程 | 第81页 |
| ·实验结果 | 第81-84页 |
| ·镍膜弹性模量的单轴拉伸法表征 | 第84-86页 |
| ·金属镍膜的屈服强度鼓包法表征 | 第86-88页 |
| ·本章小结 | 第88-89页 |
| 第6章 鼓包法表征薄膜材料膜基界面结合性能 | 第89-112页 |
| ·引言 | 第89页 |
| ·圆形薄膜弹性剥离界面结合性能的表征 | 第89-96页 |
| ·电镀镍膜/不锈钢基底鼓包样品制备 | 第89-94页 |
| ·电镀镍膜/不锈钢基底界面结合性能测量 | 第94-96页 |
| ·方形薄膜弹性剥离界面结合性能的表征 | 第96-104页 |
| ·弹塑性薄膜界面结合性能的表征 | 第104-111页 |
| ·鼓包模型 | 第104-105页 |
| ·薄膜应力-应变状态 | 第105-106页 |
| ·弯曲方程 | 第106-107页 |
| ·弹塑性应变能 | 第107-108页 |
| ·弹塑性薄膜膜基界面结合能 | 第108-109页 |
| ·结果与讨论 | 第109-111页 |
| ·本章小结 | 第111-112页 |
| 第7章 总结与展望 | 第112-114页 |
| ·论文总结 | 第112页 |
| ·工作展望 | 第112-114页 |
| 参考文献 | 第114-126页 |
| 致谢 | 第126-127页 |
| 攻读博士期间发表的学术论文及研究成果 | 第127-128页 |
| 附录 | 第128-130页 |