| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-14页 |
| ·洁净室技术的概念 | 第7页 |
| ·洁净室标准和级别 | 第7-8页 |
| ·光散射式尘埃粒子计数器的应用及发展 | 第8-11页 |
| ·光散射式尘埃粒子计数器的应用 | 第8-9页 |
| ·粒子计数器国外发展情况 | 第9-10页 |
| ·国内发展情况 | 第10-11页 |
| ·研制大流量高灵敏度粒子计数器传感器的意义 | 第11-13页 |
| ·本文的主要工作 | 第13-14页 |
| 2 尘埃粒子计数器传感器的设计原理 | 第14-26页 |
| ·尘埃粒子计数器的工作原理和结构 | 第14页 |
| ·悬浮粒子的光散射理论 | 第14-19页 |
| ·瑞利散射 | 第15-16页 |
| ·MIE散谢 | 第16-19页 |
| ·不同散射光收集系统散射光通量的分析 | 第19-22页 |
| ·近向前散射光收集系统光通量计算 | 第20-21页 |
| ·侧向光收集系统散射光通量分析 | 第21-22页 |
| ·两种散射光收集方式的比较 | 第22页 |
| ·单粒子的光散射信号的基本特征 | 第22-23页 |
| ·尘埃粒子计数器的主要性能参数 | 第23-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 3 高灵敏度尘埃粒子计数器传感器的设计 | 第26-47页 |
| ·尘埃粒子计数器传感器设计中的主要问题 | 第26页 |
| ·散射光收集系统的设计 | 第26-29页 |
| ·粒子散射光强分布的模拟与分析 | 第26-27页 |
| ·近前向与直角散射光收集系统收集光通量的分析与比较 | 第27-28页 |
| ·聚光腔与透镜的选择 | 第28-29页 |
| ·照明系统的设计 | 第29-36页 |
| ·照明光源的选择 | 第30-31页 |
| ·照明光束的整形 | 第31-35页 |
| ·光路的调节方法 | 第35-36页 |
| ·光电探测器件的选择 | 第36-39页 |
| ·光电倍增管 | 第37页 |
| ·PIN光电二极管 | 第37页 |
| ·雪崩光电二极管 | 第37-39页 |
| ·粒子计数器传感器信噪比的提高 | 第39-42页 |
| ·粒子计数器传感器光噪声的来源 | 第39页 |
| ·光阑和光陷阱的设计 | 第39-41页 |
| ·粒子计数器传感器电噪声的分析和前置放大电路的的改进 | 第41-42页 |
| ·气路系统的设计 | 第42-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 4 传感器性能的实验检测 | 第47-54页 |
| ·实验系统 | 第47页 |
| ·实验结果及分析 | 第47-52页 |
| ·传感器探测下限的确定及信号的分析 | 第47-48页 |
| ·标定曲线的计算 | 第48-50页 |
| ·粒径档的划分以及各通道的粒径分布误差 | 第50-52页 |
| ·实验结果的误差分析 | 第52-53页 |
| ·照明光束的不均匀性引起的误差 | 第52页 |
| ·重叠误差 | 第52-53页 |
| ·其他类型误差 | 第53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 5 总结与展望 | 第54-56页 |
| ·总结 | 第54页 |
| ·展望 | 第54-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-59页 |